专利摘要
本发明公开了一种纳米间隙原位活化的复合阳极键合方法，包括放电活化工序及阳极键合工序，所述复合阳极键合方法的具体步骤包括：设置复合阳极键合参数；将硅片和玻璃片相互贴合叠放在固定工作台上，在被键合界面形成纳米间隙，同时施加所设定的键合压力，并加热至所设定的键合温度；施加介质阻挡放电电压参数、介质阻挡放电时间参数、介质阻挡放电频率参数、键合电压参数与键合时间参数，以得到键合层。本发明先利用阳极键合初始界面的纳米间隙作为介质阻挡放电间隙完成活化工序，再通过切换电源直接完成阳极键合工序，实现了原位活化的阳极键合，与此同时，调整了对应的介质阻挡放电参数，显著降低了键合温度，实现了低温键合。
专利附图
纳米间隙原位活化的复合阳极键合方法专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
动态评分
0.0