IPC分类号 : G01D5/26; G01K11/00; G01L1/24; G01L11/02
专利摘要
本发明公开一种基于等离激元效应的多参数测量传感芯片及制备方法,芯片包括热膨胀聚合物底层,所述底层上设置有环形金属狭缝阵列,所述环形银狭缝内圆为金属块,所述金属块附着在热膨胀聚合物底层上。本发明可以根据光谱仪知SPP共振波长的具体变化量,从而进行温度和压力的多参数测量,本发明将温度和压力传感测量合二为一,提高了灵敏度和集成度,且易于加工制造,成本低。
专利附图
基于等离激元效应的多参数测量传感芯片及制备方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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