专利摘要
本发明公开了一种MEMS光纤压力传感器及制作方法,包括光纤、压力敏感元件和基座,所述基座的上表面设置有光纤槽,所述光纤安装在所述光纤槽内,所述压力敏感元件和基座的尺寸相同,所述压力敏感元件的下表面和基座的上表面通过阳极键合相互连接,所述光纤的一端与所述压力敏感元件之间相对间隔一定的距离从而形成法布里‑珀罗腔;本发明具有体积小,能批量生产,制作方法简单,机械性能强,温度系数低,灵敏度高等优点。
专利附图
一种MEMS光纤压力传感器的制作方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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