专利摘要
本发明公开了一种基于光学操控的纳米孔阵列的可控加工方法及装置，其方法包括以下步骤：步骤(1)，在清洗好的硅片的上表面旋涂一层十六烷基三甲基氯化铵层；步骤(2)，在完成步骤(1)的硅片的上表面自组装一层金纳米颗粒，步骤(3)，通过多光束振镜分散出阵列激光束，步骤(4)，通过单束激光束对各个金纳米颗粒进行光学操纵以使各个金纳米颗粒移动至对应的目标位置上。克服金纳米颗粒自组装时范德华力的限制，在指定位置准确地加工出定制化的金纳米颗粒阵列，并且通过金属辅助化学刻蚀高效地加工出高质量的硅纳米孔阵列，克服现有纳米孔阵列的刻蚀技术的所需工艺实验工作量大、孔位调整难度大等缺点，具有广阔的应用前景。
专利附图
一种基于光学操控的纳米孔阵列的可控加工方法及装置专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
动态评分
0.0