专利摘要
本发明提供了一种基于细光束的f‑theta测量系统的优化方法,其通过软件建模建立其采用单光线入射测量的f‑theta测量系统模型,采用单光线对细光束行为进行模拟,借助f‑theta测量系统模型进行光线追迹计算得到在工作距离范围内的多组不同工作距离及反射镜偏转角度下对应的单光线测量光斑质心位置偏移量,从而以该测量光斑质心位置偏移量最小为目标进行优化,通过最小二乘法求解,确定优化所得的透镜组几何结构参数值,并按照该优化所得的透镜组几何结构参数值制造细光束f‑theta测量系统中透镜组的各个光学元件,能够极大的减小基于细光束的f‑theta测量系统由像差引入的误差。
专利附图
基于细光束的f-theta测量系统的优化方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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