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一种纳米及微米孔的加工方法

一种纳米及微米孔的加工方法

IPC分类号 : B81C1/00; B82Y40/00

申请号
CN201711349542.X
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2017/12/15
  • 公开号: CN107973268A
  • 公开日: 2018/5/1
  • 主分类号: B81C1/00
  • 专利权人: 广东工业大学,佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院

专利摘要

一种纳米及微米孔的加工方法,包括如下步骤:1、清洗基材,并清除其表面脏污;2、旋涂光刻胶,曝光、显影,形成基板;3、在基板表面沉积微纳复合结构金属粒子;微纳复合结构金属粒子以磁性内核为中心,表面镀有由多个纳米金、银或铝粒子组成的纳米金属粒子镀层;4、去除光刻胶,只保留微纳复合结构金属粒子点阵列;5、采用激光照射基板,同时施加均匀强磁场,加工形成加工孔;6、达到目标孔径大小、形状、深度的纳米孔或微米孔后,中止激光照射及移除均匀强磁场,获得成品;本发明提出的加工方法,能够加工孔径在100nm以上及微米级的任意形状的盲孔或通孔,环保且操作简单,且加工的孔径大小、形状和深度均达到可控的效果。

专利附图

一种纳米及微米孔的加工方法

一种纳米及微米孔的加工方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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