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一种核壳结构纳米金属互连工艺

一种核壳结构纳米金属互连工艺

IPC分类号 : B22F1/02; H01L23/532; B82Y30/00; B82Y40/00

申请号
CN201810010152.8
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2018/1/5
  • 公开号: CN108237222A
  • 公开日: 2018/7/3
  • 主分类号: B22F1/02
  • 专利权人: 广东工业大学

专利摘要

本发明提供了一种核壳结构纳米金属互连工艺,包括:A)将核壳结构的纳米颗粒互连材料印刷至基板上;所述核壳结构的纳米颗粒互连材料包括金属壳层包覆的纳米铜颗粒;所述金属选自金、银、锡、铂和钯中的一种或几种;B)将芯片覆盖于所述纳米颗粒互连材料表面,得到整体器件;C)将所述整体器件烧结,得到互连器件。本发明的金属壳层包覆的纳米铜颗粒中壳层金属形态致密、尺寸均匀可控,易在较低温度下发生原子扩散,与核层纳米铜颗粒连接在一起,形成三维的互连体系,不仅提高了纳米铜的抗氧化性与稳定性,还大大降低了互连温度和互连条件。该工艺能够在低温无压条件下将芯片与基板互连,完成电子器件的连接封装。

专利附图

一种核壳结构纳米金属互连工艺

一种核壳结构纳米金属互连工艺专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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