专利摘要

本发明公开了一种用于蓝宝石衬底图形化的纳米压印装置及方法。该装置包括：纳米压印模具，紫外纳米压印用抗蚀剂，蓝宝石衬底，曝光用的紫外光光源。其中，抗蚀剂涂铺于蓝宝石衬底之上，曝光用紫外光光源置于蓝宝石衬底正下方，在纳米压印模具上设有特征型腔，从而构成模具上的特征图形。本发明利用改性氟碳树脂基硬聚合物模具具有非常低的表面能、兼具软、硬模具的优势，以及良好的机械和物理性能，并结合蓝宝石衬底对于紫外光良好的透光性能，实现4英寸以上大尺寸晶圆级纳米图形化蓝宝石低成本、高生产率和规模化制造。本发明也可用于其它透明衬底（如ZnO衬底）的图形化。

专利附图

用于蓝宝石衬底图形化的纳米压印装置及方法专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。