专利摘要
本发明公开了一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法,包括分析多品种晶圆混合加工情形下单臂组合设备可调度性判定条件,包括含晶圆无PM共享的情形及有PM共享的情景;通过对系统分配虚拟晶圆进入虚拟加工模块完成晶圆加工,平衡工作负载,从而形成节拍稳定的周期性加工过程;对多晶圆混合加工过程的理论分析及计算,推导出系统存在稳态调度的完整特征约束,得到多品种晶圆混合加工时单臂组合设备稳态调度求解算法。
专利附图
一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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