IPC分类号 : B41M5/00; H01B13/00; C23C14/35; C23C14/18; C23C14/28
专利摘要
本发明属于透明导电氧化物薄膜领域,涉及一种提高TCO薄膜综合光电特性的激光加工方法;步骤为:将需要掺杂金属或合金薄膜作为源薄膜固定于透明基底上,作为转移基片;同时将TCO薄膜固定于透明玻璃基底上,作为接收基片;转移基片置于接收基片上方0~350μm,且薄膜面相对而放,保证转移基片能够完全覆盖住接收基片;皮秒激光束通过转移基板作用在源薄膜上,将源薄膜加热至熔融或者等离子体状态,从基板上脱离并转移到接收基片上,在TCO膜表面沉积金属粒子;本发明有效的避免了直接在TCO薄膜上进行直接的激光加工操作从而造成的形貌破坏,并且工序简单,可控性高,易于实施,同样适用于微纳加工领域。
专利附图
一种提高TCO薄膜综合光电特性的激光加工方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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