专利摘要

本实用新型涉及真空镀膜机水冷却循环系统，包括形成回路的相互水路连接的水塔、镀膜机冷却管路、第一水泵，还包括分别与水塔水路连接的纯净水补水装置及自来水备用补水装置，还包括水位控制装置，所述水位控制装置分别与纯净水补水装置和自来水备用补水装置电性连接。利用纯净水补水装置作为对水塔提供纯净水及补水的设施，避免矿物质丰富的自来水遇热容易析出形成水垢堵塞冷却管路的现象，无需定时费时费力的清理冷却管路，提高设备使用效率，同时通过水位控制装置首先启用纯净水补水装置补充纯净水，保证机器连续工作不停机，设计简单合理，操作简便，实用性强。

权利要求

1.真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：包括形成回路的相互水路连接的水塔、镀膜机冷却管路、第一水泵，还包括分别与水塔水路连接的纯净水补水装置及自来水备用补水装置，还包括水位控制装置，所述水位控制装置分别与纯净水补水装置和自来水备用补水装置电性连接。

2.如权利要求1所述的真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：所述水位控制装置包括设置于水塔中的第一水位传感器，还包括与所述第一水位传感器电性连接的补水控制电箱。

3.如权利要求2所述的真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：所述纯净水补水装置包括相互水路连接的纯水桶、第一电磁阀、第二水泵，所述第二水泵出水口接入水塔，所述第一电磁阀接在纯水桶与第二水泵之间的水路中并与补水控制电箱电性连接，所述第二水泵与补水控制电箱电性连接。

4.如权利要求3所述的真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：还包括纯水机，所述纯水机与纯水桶水路连接。

5.如权利要求3所述的真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：还包括设置于纯水桶中的第二水位传感器，所述第二水位传感器与补水控制电箱电连接。

6.如权利要求2～5中任意一项权利要求所述的真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：所述自来水备用补水装置包括自来水管、第二电磁阀，所述自来水管出水口接入水塔，所述第二电磁阀设置在自来水管中并与补水控制电箱电性连接。

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜机设备领域，尤其涉及真空镀膜机水冷却循环系统。

背景技术

真空镀膜设备运行时有许多部分需要冷却水冷却。如：真空室、机械泵、扩散泵、电子枪、阻蒸、晶控探头等。这些部位的冷却是通过焊接在外壳的铜管和本身带有金属管道通入冷却水来散热。冷却水流入带走热量，然后再回到冷却塔冷却，被冷却的水再通过水泵重新回到设备冷却水管，以此循环。在冷却塔上通常配置自来水和自来水补水装置作为冷却水源。但自来水中有很多矿物质，在水流经设备冷却管道时，因为高温而使水中的矿物质析出形成水垢粘在设备的冷却管道上，时间一久水垢会堵塞冷却水管使得水路不通真空设备无法散热，严重时设备无法工作，甚至造成设备损坏。而堵塞的水管因为线径细而且多弯曲极难疏通，有时要用除垢剂花费几天的时间来疏通管道，严重地时候冷却水管报废需要重新焊接。造成生产停产，损失严重。

发明内容

本实用新型的目的在于提供真空镀膜机水冷却循环系统，能避免或减轻水垢堵塞冷却水管的现象，节省清理成本，保证机器长时间正常运行，结构简单，操作便捷。

本实用新型所采用的技术方案是：真空镀膜机水冷却循环系统，包括形成回路的相互水路连接的水塔、镀膜机冷却管路、第一水泵，还包括分别与水塔水路连接的纯净水补水装置及自来水备用补水装置，还包括水位控制装置，所述水位控制装置分别与纯净水补水装置和自来水备用补水装置电性连接。

其中，所述水位控制装置包括设置于水塔中的第一水位传感器，还包括与所述第一水位传感器电性连接的补水控制电箱。

其中，所述纯净水补水装置包括相互水路连接的纯水桶、第一电磁阀、第二水泵，所述第二水泵出水口接入水塔，所述第一电磁阀接在纯水桶与第二水泵之间的水路中并与补水控制电箱电性连接，所述第二水泵与补水控制电箱电性连接。

其中，还包括纯水机，所述纯水机与纯水桶水路连接。

其中，还包括设置于纯水桶中的第二水位传感器，所述第二水位传感器与补水控制电箱电连接。

其中，所述自来水备用补水装置包括自来水管、第二电磁阀，所述自来水管出水口接入水塔，所述第二电磁阀设置在自来水管中并与补水控制电箱电性连接。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：本实用新型的真空镀膜机水冷却循环系统，利用纯净水补水装置作为对水塔提供纯净水及补水的设施，使真空镀膜机水冷却循环系统的循环水为纯净水，避免矿物质丰富的自来水遇热容易析出形成水垢堵塞冷却管路的现象，无需定时费时费力的清理冷却管路，提高设备使用效率，在水塔缺水的情况下通过水位控制装置首先启用纯净水补水装置补充纯净水，确保水源的纯净，在纯净水补水装置故障无法工作时才启用自来水备用补水装置，保证机器连续工作不停机，设计简单合理，操作简便，实用性强。

附图说明

图1是本实用新型的水路结构示意图。

图中标号所示为1-水塔、2-镀膜机冷却管路、3-第一水泵、4-水位控制装置、41-第一水位传感器、42-补水控制电箱、5-纯净水补水装置、51-纯水桶、52-第一电磁阀、53-第二水泵、54-纯水机、55-第二水位传感器、6-自来水备用补水装置、61-自来水管、62-第二电磁阀。

具体实施方式：

为加深本实用新型的理解，下面将结合实施案例和附图对本实用新型作进一步详述。本实用新型可通过如下方式实施：

参见图1中所示的真空镀膜机水冷却循环系统，包括形成回路的相互水路连接的水塔1、镀膜机冷却管路2、第一水泵3，还包括分别与水塔1水路连接的纯净水补水装置5及自来水备用补水装置6，还包括水位控制装置4，所述水位控制装置4分别与纯净水补水装置5和自来水备用补水装置6电性连接。其中，纯净水补水装置5提供和补充水塔1的纯净水，工作中的真空镀膜机水冷却循环系统以第一水泵3作为动力源使纯净水在水塔1与镀膜机冷却管路2间循环流动对镀膜机不间断的降温冷却，水塔1水蒸发缺水时，水位控制装置4首先启用纯净水补水装置5对水塔1补水，保证水源清洁度，杜绝水垢现象。为保证镀膜机连续工作不间断，防止纯净水补水装置5故障缺水，设置了自来水备用补水装置6供水，保证镀膜机镀膜正常进行。

具体的，所述水位控制装置4包括设置于水塔1中的第一水位传感器41，还包括与所述第一水位传感器41电性连接的补水控制电箱42。具体的，所述纯净水补水装置5包括相互水路连接的纯水桶51、第一电磁阀52、第二水泵53，所述第二水泵53出水口接入水塔1，所述第一电磁阀52接在纯水桶51与第二水泵53之间的水路中并与补水控制电箱42电性连接，所述第二水泵53与补水控制电箱42电性连接。通过第一水位传感器41感知水塔1补水水位反馈给补水控制电箱42控制开启第一电磁阀52和第二水泵53，抽取纯水桶51中的纯净水至水塔1补水到位后，补水控制电箱42关闭第一电磁阀52和第二水泵53。

进一步的，还包括纯水机54，所述纯水机54与纯水桶51水路连接，由纯水机54制纯净水为纯水桶51提供源源不断的纯净水源。

进一步的，还包括设置于纯水桶51中的第二水位传感器55，所述第二水位传感器55与补水控制电箱42电连接，如果纯水桶51中的纯净水由于某种原因缺水，第二水位传感器55及时反馈信号至补水控制电箱42进行下一步动作，可以是执行机构动作也可以是报警器鸣笛，提示人工开启自来水备用补水装置6。

其中，所述自来水备用补水装置6包括自来水管61、第二电磁阀62，所述自来水管61出水口接入水塔1，所述第二电磁阀62设置在自来水管61中并与补水控制电箱42电性连接，由人工判断或第二水位传感器55反馈纯净水补水装置5故障缺水，通过补水控制电箱42开启第二电磁阀62利用自来水水压驱动进行补水，补水完成后第一水位传感器41反馈信号，补水控制电箱42关闭第二电磁阀62终止补水。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

真空镀膜机水冷却循环系统专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。