专利摘要
本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域,具体涉及一种新型单晶炉热屏升降装置。包括热屏、升降装置、动力装置和保护装置,所述升降装置通过滑块与热屏连接,升降装置的外围设置有保护装置,包括冷却管、石墨隔热毡和密封波纹管;所述升降装置的滚珠丝杠副外侧设置有一层铜板,铜板外设置有冷却管,所述冷却管外围包括设置石墨隔热毡;所述密封波纹管设置在动力装置与上轴承之间的丝杠上。本实用新型装置采用滚珠丝杠螺母通过滑块直接与热屏相连接的方式,增强了热屏升降的平稳性能的同时升降结构简化,使用方便,不仅摩擦损失小、传动效率高、省电,而且可以实现高精度的高速进给和微进给。
权利要求
1.一种新型单晶炉热屏升降装置,包括热屏,其特征在于:该装置包括升降装置、动力装置和保护装置;
所述升降装置包括滚珠丝杠副、设置于滚珠丝杠副上的轴承、安装座和滑座;
所述安装座包括设置在单晶炉炉盖上的上安装座和设置在单晶炉上保温盖上的下安装座;
所述轴承包括上轴承和下轴承,所述滚珠丝杠副的丝杠通过上轴承和下轴承设置在上安装座和下安装座上;
所述滑座的一端连接在滚珠丝杠副的螺母上,另一端与热屏连接;
所述保护装置包括冷却管、石墨隔热毡和密封波纹管;所述滚珠丝杠副外侧设置有一层铜板,所述铜板外设置有冷却管,所述冷却管外围包括设置石墨隔热毡;所述密封波纹管设置在动力装置与上安装座之间的丝杠上;
所述动力装置与升降装置连接。
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热屏升降装置,其特征在于:所述动力装置包括电机、减速器和联轴器,所述电机连接减速器的输入端,减速器的输出端与联轴器相连,联轴器的另一端连接升降装置。
3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热屏升降装置,其特征在于:所述冷却管为盘管结构。
4.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热屏升降装置,其特征在于:所述冷却管由中空铜管制成,冷却管中通有冷却水。
5.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热屏升降装置,其特征在于:所述冷却管和石墨隔热毡只包裹设置在滚珠丝杠副的三个面,滑块与热屏连接的这一面未设置。
6.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热屏升降装置,其特征在于:所述下轴承为角接触轴承,所述上轴承为圆柱滚子轴承、双列圆柱滚子轴承、滚针轴承中的任意一种。
一种新型单晶炉热屏升降装置专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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