专利摘要

本发明提供一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其中：阵列式固定电极为阵列式分布并通过布局连线构成，与吸合电极通过空气间隙相互绝缘并位于绝缘衬底上；柔性连接多平面式移动电极与连体蛇形弹簧相连，通过弹簧固定支座形成悬空可动结构，反向限位阻挡结构悬空位于柔性连接多平面式移动电极上方。本发明平面内阵列式布局大大增加固定电极与柔性连接多平面式移动电极接触可能性；吸合电极与柔性连接多平面式移动电极之间静电吸合作用能够任意延长固定电极与柔性连接多平面式移动电极之间接触时间，提升接触性能；反向阻挡限位结构能够有效抑制柔性连接多平面式移动电极在非敏感方向的大幅度变形，提升器件稳定性。

权利要求

1.一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其特征在于，包括：柔性连接多平面式移动电极、反向阻挡限位结构、连体蛇形弹簧、弹簧固定支座、阵列式固定电极、吸合电极、绝缘衬底，其中：

所述柔性连接多平面式移动电极与连体蛇形弹簧相连，并通过弹簧固定支座悬空于反向阻挡限位结构的下方、阵列式固定电极和吸合电极所在平面的上方，且柔性连接多平面式移动电极与反向阻挡限位结构之间存在间隙；所述连体蛇形弹簧使柔性连接多平面式移动电极处于悬空状态，且在施加外界加速度时为柔性连接多平面式移动电极提供恢复力；所述弹簧固定支座固定于绝缘衬底上，且与连体蛇形弹簧相连，用于对连体蛇形弹簧、柔性连接多平面式移动电极起支撑作用；所述反向阻挡限位结构固定于绝缘衬底上，用于对柔性连接多平面式移动电极在敏感方向的反方向大位移运动起阻挡作用；所述阵列式固定电极与吸合电极均固定于绝缘衬底上，且阵列式固定电极与吸合电极通过空气间隙相互绝缘；

当外界的加速度沿敏感方向作用于所述微机械惯性开关，柔性连接多平面式移动电极向阵列式固定电极方向运动，同时柔性连接多平面式移动电极与吸合电极之间的静电力不断增大，当静电力起主要作用时，柔性连接多平面式移动电极向下运动接触到阵列式固定电极，从而实现对外电路的导通，并通过静电力实现柔性连接多平面式移动电极与阵列式固定电极之间的锁定，任意控制接触时间；

当外界的加速度沿非敏感方向作用于所述微机械惯性开关时，反向阻挡限位结构能够有效抑制柔性连接多平面式移动电极在非敏感方向的大幅度变形，从而提升所述微机械惯性开关的稳定性。

2.根据权利要求1所述一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其特征在于，所述柔性连接多平面式移动电极为通过多次叠层电镀金属形成的方形结构；所述柔性连接多平面式移动电极由分块平面移动电极和柔性结构构成，其中：分块平面移动电极为方形结构或圆形结构；柔性结构为矩形结构；

在所述柔性连接多平面式移动电极上设有一系列的孔以便于制备工艺的最后释放，即去除牺牲层和种子层；

所述柔性连接多平面式移动电极的四个侧面分别与一个连体蛇形弹簧相连接，且每个侧面与对应连接的连体蛇形弹簧有两个接触点。

3.根据权利要求2所述的一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其特征在于，所述柔性连接多平面式移动电极的边长为500～3500微米、高为20～450微米；

当所述分块平面移动电极为方形结构时，其边长为90～680微米、高为20～450微米；当所述分块平面移动电极为圆形结构时，其半径为50～400微米、高为20～450微米；

所述柔性结构的宽为10～80微米、长为20～160微米、高为20～450微米；

当所述柔性连接多平面式移动电极上的孔为圆形孔时，圆形孔的直径为30～250微米、个数为1～4个；当所述柔性连接多平面式移动电极上的孔为多边形孔时，多边形孔的面积为2800～196000平方微米、个数为1～4个。

4.根据权利要求1所述的一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其特征在于，所述吸合电极为通过电镀形成的方形结构或者圆形结构或者多边形结构，并在吸合电极内部包含一系列的固定电极。

5.根据权利要求4所述的一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其特征在于，当所述吸合电极为方形结构时，其边长为500～3500微米、高为3～250微米；

当所述吸合电极为圆形结构时，其半径为250～2000微米、高为3～250微米；

当所述吸合电极为多边形结构时，其面积为2500～12250000平方微米、高为3～250微米。

6.根据权利要求1所述的一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其特征在于，所述阵列式固定电极为通过多次叠层电镀金属形成的阵列式排列圆柱结构，且阵列式排列圆柱结构之间相互连通；

或者，所述固定电极为通过多次叠层电镀金属形成的阵列式排列多边体结构。

7.根据权利要求6所述的一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其特征在于，当所述阵列式固定电极为阵列式排列圆柱结构时，其直径为10～200微米、高为4～260微米，个数为4～35个；

当所述固定电极为阵列式排列多边体结构时，其面积为300～130000平方微米、高为4～260微米，个数为4～35个。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其特征在于，所述连体蛇形弹簧为通过电镀金属形成的多匝结构，其中：

连体蛇形弹簧的线宽为6～90微米、厚度为6～90微米，连体蛇形弹簧的拐角处半圆内径为15～250微米。

9.根据权利要求1-7任一项所述一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其特征在于，所述反向限位阻挡结构为通过电镀金属形成的圆形结构或者多边形结构，以及四个带有一系列孔洞的悬臂梁和四个方形柱或圆形柱的支撑柱，其中：

在所述反向限位阻挡结构上设置一系列圆形孔洞或多边形孔洞，以便于最后的释放，即去除牺牲层和种子层；

在所述悬臂梁上设置有一系列方形阵列孔洞或圆形阵列孔洞，以便于最后的释放以及减小结构刚度。

10.根据权利要求1-7任一项所述一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其特征在于，所述弹簧固定支座为通过电镀金属形成的方形结构或者圆形结构；

当所述弹簧固定支座为方形结构时，其长度为50～3000微米、宽度为20～1000微米、厚度为20～300微米；当所述弹簧固定支座为圆形结构时，其半径为15～500微米、厚度为20～300微米。

说明书

技术领域

发明涉及的是一种微机电系统技术领域的器件，具体的是一种具有步进吸合作用的静电锁定垂直敏感的微机械惯性开关。

背景技术

MEMS惯性开关是一种集传感器与执行器功能与一体的无源器件，具有尺寸小、集成度高、无能耗等特点。基于表面微加工工艺制作的MEMS惯性开关具有制造成本低、阈值一致性好等特点，已成为制作惯性开关的主流。传统报道的MEMS惯性开关，在敏感方向受到超过阈值的外界加速度时，移动电极向固定电极方向移动并发生刚性碰撞，接触时间极为短暂，增加了信号处理电路的难度，应用范围受到了极大地限制；同时，由于加工工艺和设计等局限，移动电极的接触表面很难保证很好的平整度，这将会影响在实际应用中移动电极与固定电极的碰撞接触过程。

西安电子科技大学的Jian Zhao等人于2006年在《A novel MEMS parallel-beam acceleration switch》中根据梁的大饶度后屈曲理论设计了一种应用于汽车安全气囊约束系统的惯性开关。该设计采用两根倾斜的悬臂梁支撑敏感质量块作为移动电极，当在惯性开关的敏感方向施加超过阈值的外界加速度时，敏感质量块在惯性力作用下与固定电极发生碰撞接触，此时支撑悬臂梁将发生屈曲形变，移动电极将会在支撑悬臂梁的屈曲状态下保持一段时间，这段时间为该设计惯性开关的接触时间。理论上，在没有采取复位措施的情况下，该设计的惯性开关的接触时间可以无限延长。但是，在实际应用中，敏感质量块与固定电极的刚性碰撞接触常常会导致反弹现象，尤其在高阈值的惯性开关中，该设计的惯性开关既有更高的反弹概率，因此，这种设计的惯性开关的安全性能以及可靠性是一个重要问题。

北京大学的Z.Y.Guo等人于2008年在《Design,fabrication and characterization of a latching acceleration switch with multi-contacts independent to the proof-mass》中设计了一种具有闭锁结构的惯性开关。当移动电极与固定电极碰撞接触后，两电极在闭锁结构的作用下实现锁定，移动电极不能回复到初始位置，接触时间被无限延长。从设计结构来看，基于摩擦力分析，需要在较大的过载加速度作用下才能实现移动电极与固定电极之间的锁定。分析认为，这种设计的闭锁结构虽然能实现移动电极与固定电极之间的锁定，但是需要非常大的过载加速度才能保证移动电极穿过固定电极的阻挡，因而器件的工作过程对器件有一定的破坏力。因此，该作者进行了改进设计，将质量块设计为感应加速度的功能结构而不是移动电极，质量块在惯性力的作用下驱动移动电极与固定电极发生碰撞接触，并将固定电极设计为可变性弹簧，从而降低闭锁结构的刚度将刚性接触变为柔性接触。同时，为了提高惯性开关的碰撞接触可靠性并增大接触表面，将固定电极的接触点结构改为具有凹槽结构的圆柱形接触面。同样，器件在应用过程中需要一定的过载加速度才能够保证实现移动电极与固定电极之间的闭合锁定，因而，改进后的设计无法满足阈值较低的惯性开关的精度要求，同样存在着测试完成后无法复位的问题。

因此，本领域的研究人员致力于研究提高器件电极间的接通可靠性，获得具有较长脉冲宽度的输出信号并且能够在使用完成后能够实现复位，抗干扰能力和过载能力强的MEMS惯性开关，同时，希望能够降低惯性开关的制作工艺难度，降低生产成本。

发明内容

本发明的目的在于基于表面微加工工艺，提供一种具有步进吸合功能的静电锁定垂直方向敏感的微机械惯性开关，使其能够感知垂直方向的振动加速度。当沿惯性开关的敏感方向施加超过阈值的加速度时，惯性开关的移动电极向固定电极方向移动并与之发生碰撞接触，并且，通过移动电极与吸合电极之间的静电力使移动电极与固定电极之间保持接触状态，从而大大延长接触时间，实现有效触发；同时，本发明提供的柔性连接多平面式移动电极，通过分块式的结构，能够实现步进吸合作用，降低吸合电压，保证移动电极表面的平整度；并且，本发明提供的阵列式固定电极，能够有效减小对有效吸合面积的影响，从而，保证惯性开关的移动电极与固定电极实现有效接触并实现锁定功能，提高所述微机械惯性开关的稳定性。

本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明提供一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，包括：柔性连接多平面式移动电极、反向阻挡限位结构、连体蛇形弹簧、弹簧固定支座、阵列式固定电极、吸合电极、绝缘衬底，其中：

所述柔性连接多平面式移动电极与连体蛇形弹簧相连，并通过弹簧固定支座悬空于反向阻挡限位结构的下方、阵列式固定电极和吸合电极所在平面的上方，且柔性连接多平面式移动电极与反向阻挡限位结构之间存在间隙；所述连体蛇形弹簧使柔性连接多平面式移动电极处于悬空状态，且在施加外界加速度时为柔性连接多平面式移动电极提供恢复力；所述弹簧固定支座固定于绝缘衬底上，且与连体蛇形弹簧相连，用于对连体蛇形弹簧、柔性连接多平面式移动电极起支撑作用；所述反向阻挡限位结构固定于绝缘衬底上，用于对柔性连接多平面式移动电极在敏感方向的反方向大位移运动起阻挡作用；所述阵列式固定电极与吸合电极均固定于绝缘衬底上，且阵列式固定电极与吸合电极通过空气相互绝缘；

当外界的加速度沿敏感方向作用于所述微机械惯性开关，柔性连接多平面式移动电极向阵列式固定电极方向运动，同时柔性连接多平面式移动电极与吸合电极之间的静电力不断增大，当静电力起主要作用时，柔性连接多平面式移动电极向下运动接触到阵列式固定电极，从而实现对外电路的导通，并通过静电力实现柔性连接多平面式移动电极与阵列式固定电极之间的锁定，任意控制接触时间；

当外界的加速度沿非敏感方向作用于所述微机械惯性开关时，反向阻挡限位结构能够有效抑制柔性连接多平面式移动电极在非敏感方向的大幅度变形，从而提升所述微机械惯性开关的稳定性。

优选地，所述柔性连接多平面式移动电极为通过多次叠层电镀金属形成的方形结构。

更优选地，所述柔性连接多平面式移动电极为方形结构的边长为500～3500微米、高为20～450微米。

优选地，所述柔性连接多平面式移动电极由分块平面移动电极和柔性结构构成，其中：分块平面移动电极为方形结构或圆形结构；柔性结构为矩形结构。

更优选地，当所述分块平面移动电极为方形结构时，其边长为90～680微米、高为20～450微米；当所述分块平面移动电极为圆形结构时，其半径为50～400微米、高为20～450微米。

更优选地，所述柔性结构的宽为10～80微米、长为20～160微米、高为20～450微米。

优选地，在所述柔性连接多平面式移动电极上设置一系列的孔以便于最后的释放，即去除牺牲层和种子层。

更优选地，所述孔为圆形孔，圆形孔的直径为30～250微米，个数为1～4个；或者，所述孔为多边形孔，多边形孔的面积为2800～196000平方微米、个数为1～4个。

优选地，所述柔性连接多平面式移动电极的四个侧面与连体蛇形弹簧相连接，且每个侧面与对应连接的连体蛇形弹簧有两个接触点，以便更好地实现柔性连接多平面式移动电极的平衡。

优选地，所述吸合电极为通过电镀金属形成的方形结构或者圆形结构或者多边形结构，并在吸合电极内部包含一系列的固定电极。

更优选地，当所述吸合电极为方形结构时，其边长为500～3500微米、高为3～250微米；

当所述吸合电极为圆形结构时，其半径为250～2000微米、高为3～250微米；

当所述吸合电极为多边形结构时，其面积为2500～12250000平方微米、高为3～250微米。

优选地，所述固定电极为通过多次叠层电镀金属形成的阵列式排列圆柱形结构，且阵列式排列圆柱形结构之间相互连通；

或者，所述固定电极为通过多次叠层电镀金属形成的阵列式排列多边体形结构。

更优选地，当所述固定电极为阵列式排列圆柱形结构时，其直径为10～200微米、高为4～260微米，个数为4～35个；

当所述固定电极为阵列式排列多边形结构时，其面积为300～130000平方微米、高为4～260微米，个数为4～35个。

优选地，所述连体蛇形弹簧为通过电镀金属形成的多匝结构，其中：

连体蛇形弹簧的线宽为6～90微米、厚度为6～90微米，连体蛇形弹簧的拐角处半圆内径为15～250微米。

优选地，所述反向限位阻挡结构为通过电镀金属形成的圆形结构或者多边形结构，以及四个带有一系列孔洞的悬臂梁和四个方形柱或圆形柱的支撑柱，其中：

当所述反向限位阻挡结构为圆形结构时，其半径为160～1500微米、厚度为10～80微米；当所述反向限位阻挡结构为多边形结构时，其面积为80000～70650000平方微米、厚度为10～80微米；

在圆形或多边形所述反向限位阻挡结构上设置一系列圆形孔洞或多边形孔洞，以便于最后的释放，即去除牺牲层和种子层；所述圆形孔洞的半径为40～400微米、厚度为10～80微米，所述多边形孔洞的面积为5000～500000平方微米、厚度为10～80微米；

悬臂梁为长方体结构，其长为250～2100微米、宽度为70～600微米、厚度为10～80微米；

在所述悬臂梁上设置有一系列方形阵列孔洞或圆形阵列孔洞，以便于最后的释放以及减小结构刚度；所述方形阵列孔洞的长度为40～320微米、宽度为15～120微米、厚度为10～80微米、个数为15～50个；所述圆形阵列孔洞的半径为20～180微米、厚度为10～80微米、个数为15～50个；

当所述支撑柱为方形柱时，其长度为100～1100微米、宽度为50～620微米、厚度为20～300微米；当所述支撑柱为圆形柱时，其半径为50～620微米、厚度为20～300微米。

优选地，所述绝缘衬底为石英或玻璃衬底，绝缘衬底的厚度为0.1～2毫米。

优选地，所述弹簧固定支座为通过电镀金属形成的方形结构，其长度为50～3000微米、宽度为20～1000微米、厚度为20～300微米；

或者，所述弹簧固定支座为通过电镀金属形成的圆形结构，其半径为50～400微米、高为20～450微米。

本发明以上各尺寸的选取，使得器件的制备工艺过程简单，在保证器件的微型化的同时，不失其敏感性和稳定性，从而增强了所述微机械惯性开关在各个领域的应用。

与现有技术相比较，本发明的有益效果如下：

本发明针对以往微机械惯性开关中移动电极与固定电极之间刚性碰撞接触，存在反弹现象、接触时间短暂，以及移动电极与固定电极接触不稳定等问题，提出了一种具有步进吸合作用的柔性连接多平面式移动电极和阵列式固定电极的惯性开关新结构，通过柔性连接多平面式移动电极与吸合电极之间的静电力，使柔性连接多平面式移动电极与阵列式固定电极之间保持接触状态，从而大大延长接触时间，实现有效触发；

同时，本发明的柔性连接多平面式移动电极通过分块式的结构，能够实现步进吸合作用，降低吸合电压，保证柔性连接多平面式移动电极表面的平整度；

并且，本发明的阵列式固定电极能够有效减小对有效吸合面积的影响，从而保证柔性连接多平面式移动电极与阵列式固定电极实现有效接触并实现锁定功能，提高所述微机械惯性开关的稳定性。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1是本发明一实施例的整体结构示意图；

图2是本发明一实施例的质量块与连体蛇形弹簧的结构示意图；

图3是本发明一实施例的连体蛇形弹簧的结构示意图；

图4是本发明一实施例的固定电极与吸合电极的结构示意图；

图5是本发明一实施例的反向限位阻挡结构的结构示意图；

图6是本发明一实施例的绝缘衬底、弹簧固定支座、固定电极以及吸合电极的结构示意图；

图中：质量块1，连体蛇形弹簧2，弹簧固定支座3，反向阻挡限位结构4，固定电极5，吸合电极6，绝缘衬底7。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明，但不以任何形式限制本发明。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明的保护范围。

本实施例以表面微加工工艺为基础，采用室温下在石英或玻璃等绝缘衬底导上多次互不干扰叠层电镀整个开关结构的方法制作。在器件的敏感方向施加超过器件阈值外界加速度时，与连体蛇形弹簧相连的敏感质量块在惯性力和静电力的作用下将向固定电极方向运动，并与之发生碰撞接触；同时，在移动电极和吸合电极之间的静电力作用下，移动电极和固定电极保持接触状态，从而任意延长接触时间；随后，在去除施加在吸合电极上的电压，敏感质量块在连体蛇形弹簧的弹性恢复力作用下，恢复到平衡位置，最终实现对外电路的开关作用。

如图1-图6所示，一种具有步进吸合作用的静电锁定垂直敏感的微机械静电开关，包括：质量块1、连体蛇形弹簧2、弹簧固定支座3、反向阻挡限位结构4、固定电极5、吸合电极6、绝缘衬底7，其中：

所述质量块1与连体蛇形弹簧2相连，并通过弹簧固定支座3悬空于反向阻挡限位结构4的下方、固定电极5和吸合电极6所在平面的上方，且质量块1与反向阻挡限位结构4之间存在间隙；

所述连体蛇形弹簧2使质量块1处于悬空状态，且在施加外界加速度时为质量块1提供恢复力；

所述弹簧固定支座3固定于绝缘衬底7上，且与连体蛇形弹簧2相连，用于对连体蛇形弹簧2、质量块1起支撑作用；

所述反向阻挡限位结构4固定于绝缘衬底7上，用于对质量块1在敏感方向的反方向的大位移运动起阻挡作用；

所述固定电极5与吸合电极6均固定于绝缘衬底7上，且固定电极5与吸合电极6通过空气间隙相互绝缘。

当外界的加速度沿敏感方向作用于所述微机械惯性开关，质量块1将向固定电极5方向运动，同时质量块1与吸合电极6之间的静电力不断增大，当静电力起主要作用时，质量块1向下运动接触到固定电极5，从而实现对外电路的导通，并通过静电力实现质量块1与固定电极5之间的锁定，任意控制接触时间；

当外界的加速度沿非敏感方向作用于所述微机械惯性开关时，反向阻挡限位结构4能够有效抑制质量块1在非敏感方向的大幅度变形，从而提升所述微机械惯性开关的稳定性。

一优选实施例中，为所述的质量块1与连体蛇形弹簧2的结构示意图(如图2所示)，所述质量块1为通过多次叠层电镀金属镍或铜形成的方形结构，质量块1的边长为500～3500微米、高为20～450微米。

作为优选的，在所述的质量块1上设置一系列的圆形孔以便于最后的释放，即去除牺牲层和种子层；其中：所述圆形孔的直径为30～250微米、个数为1～4个。

作为优选的，方形结构所述的质量块1的四个侧面分别与一个连体蛇形弹簧2相连接，且质量块1的每个侧面与对应连接的连体蛇形弹簧2有两个接触点。

一优选实施例中，如图3所示，为所述的连体蛇形弹簧2的结构示意图，所述连体蛇形弹簧2为通过电镀金属镍或铜形成的多匝结构，其中：所述连体蛇形弹簧2的线宽为6～90微米、厚度为6～90微米，所述连体蛇形弹簧2的拐角处半圆内径为15～250微米。

一优选实施例中，如图4所示，为所述的固定电极5与吸合电极6的结构示意图，所述吸合电极6为通过电镀金属镍或铜形成的方形结构，并在吸合电极6的内部包含一系列固定电极5；

所述吸合电极6的边长为500～3500微米、高为3～250微米；

所述固定电极5为通过多次叠层电镀金属镍或铜形成的阵列式排列圆柱形结构，且阵列式排列圆柱形结构之间相互连通；其中：所述固定电极5的直径为10～200微米、高为4～260微米，个数为4～35个。

在一优选实施例中，如图5所示，为所述的反向限位阻挡结构4的结构示意图，所述反向限位阻挡结构4为通过电镀镍或铜形成的带有孔洞的圆形结构，以及四个带有一系列孔洞的悬臂梁和四个支撑柱，其中：

所述反向限位阻挡结构4的半径为160～1500微米、厚度为10～80微米；

所述悬臂梁为长方体结构，其长为250～2100微米、宽度为70～600微米、厚度为10～80微米；

所述四个支撑柱为四根方形柱，其长度均为100～1100微米、宽度均为50～620微米、厚度均为20～300微米。

作为优选的，在所述反向限位阻挡结构4上设置有一个圆形孔洞以便于最后的释放，即去除牺牲层和种子层，其中：圆形孔洞的半径为40～400微米、厚度为10～80微米。

作为优选的，在所述悬臂梁上设置有一系列的方形阵列孔以便于最后的释放，即去除牺牲层和种子层，其中：方形阵列孔的长度为40～320微米、宽度为15～120微米、厚度为10～80微米、个数为15～50个。

如图6所示，为所述的绝缘衬底7、弹簧固定支座3、固定电极5以及吸合电极6的结构示意图，在所述绝缘衬底7上方分别固定有弹簧固定支座3、固定电极5以及吸合电极6；其中：

所述绝缘衬底7由石英或者玻璃的绝缘材料制备，其厚度为0.1～2毫米；

所述弹簧固定支座3为通过电镀镍或铜金属形成的方形结构，其长度为50～3000微米、宽度为20～1000微米、厚度为20～300微米。

上述各尺寸的选取，使得器件的制备工艺过程简单，在保证器件的微型化的同时，不失其敏感性和稳定性，从而增强了所述微机械惯性开关在各个领域的应用。

以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响本发明的实质内容。

一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。