IPC分类号 : G01H11/06,G01H13/00,G01V1/00,G01V1/18,G01D5/14
专利摘要
本新型提供了一种具有随动控制结构的超滑传感器，包括内置有半导体的基座，半导体具有平整的表面，上方设置有质量块。在质量块的下表面设置有一块或多块导电的超滑块，在质量块和超滑块之间具有随动控制结构。本新型实现了传感器可以在无外接电源或电池的情况下工作，提高能量转化效率和传感器灵敏度，极大延长器件的使用寿命。
权利要求
1.一种具有随动控制结构的超滑传感器，包括基座(1)，其特征在于：在所述基座(1)中内置有半导体(5)，半导体(5)的上方设置有质量块(3)，在所述质量块(3)的下表面设置有至少一个导电的超滑块，所述质量块(3)与所述超滑块上表面之间设置有随动控制结构。
2.如权利要求1所述的超滑传感器，其特征在于：所述半导体(5)具有原子级光滑表面。
3.如权利要求1所述的超滑传感器，其特征在于：所述超滑块上还设置连接结构，用来连接随动控制结构。
4.如权利要求1所述的超滑传感器，其特征在于：所述超滑块的厚度为100nm～10μm。
5.如权利要求1所述的超滑传感器，其特征在于：所述至少一个导电的超滑块是多个导电超滑块阵列。
6.如权利要求1-5任一项所述的超滑传感器，其特征在于：所述随动控制结构是随动控制薄膜(312)，所述随动控制薄膜(312)控制每个超滑块的法向位移。
7.如权利要求1-5任一项所述的超滑传感器，其特征在于：所述随动控制结构是弹性导电胶层(313)，所述弹性导电胶层(313)消除水平起伏带来的影响。
8.如权利要求1-5任一项所述的超滑传感器，其特征在于：所述质量块(3)的共振频率根据待测目标的频率可调节。
一种具有随动控制结构的超滑传感器专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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