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一种高比表面积的MeN涂层及其制备方法和超级电容器

一种高比表面积的MeN涂层及其制备方法和超级电容器

IPC分类号 : H01G11/24; H01G11/30; H01G11/86

申请号
CN201810654793.7
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2018/6/22
  • 公开号: CN108831754A
  • 公开日: 2018/11/16
  • 主分类号: H01G11/24
  • 专利权人: 广东工业大学

专利摘要

本发明属于氮化物涂层的技术领域,尤其涉及一种高比表面积的MeN涂层及其制备方法和应用。本发明提供了一种高比表面积的MeN涂层的制备方法,包括以下步骤:步骤一、在氮气,或氮气和惰性气体混合气体的气氛中,通过物理气相沉积法蒸发或者溅射Me金属靶,形成MeN,沉积在基体的表面,得到第一MeN涂层,其中,Me包括金属的单质或过度金属的单质;步骤二、将所述第一MeN涂层的表面进行离子源刻蚀法处理,得到MeN涂层。本发明能有效解决目前氮化物基涂层存在的孔隙率低、比表面积小和稳定性差的技术缺陷。

专利附图

一种高比表面积的MeN涂层及其制备方法和超级电容器

一种高比表面积的MeN涂层及其制备方法和超级电容器专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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