专利摘要
本实用新型公开了一种半导体晶圆检测用高效抗干扰的检测仪，包括底板，所述底板顶部的中端固定连接有限位柱，所述限位柱顶部的中端固定连接有气缸，所述气缸的输出端固定连接有凸起，所述限位柱顶部的两侧通过连接板固定连接有放置板。本实用新型通过过滤箱的顶部固定安装有风机，风机的输出端固定连接有波纹管，波纹管的输出端固定连接有增压泵，增压泵的输出端固定连接有气枪，起到了高压吹气的效果，从而可有效的将颗粒以及灰尘等杂物吹离，进而提高了抗灰尘以及颗粒干扰的目的，解决了现有的检测仪存在不具备高效抗颗粒干扰的功能，从而容易因为颗粒导致晶片倾斜，进而造成检测数据不准确，还容易导致晶片损坏的问题。
权利要求
1.一种半导体晶圆检测用高效抗干扰的检测仪，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）顶部的中端固定连接有限位柱（4），所述限位柱（4）顶部的中端固定连接有气缸（5），所述气缸（5）的输出端固定连接有凸起（28），所述限位柱（4）顶部的两侧通过连接板固定连接有放置板（3），且放置板（3）的表面开设有通孔（27），所述底板（1）顶部的两侧固定连接有支撑柱（2），所述支撑柱（2）的顶部固定连接有平衡板（6），所述平衡板（6）的外侧固定连接有过滤箱（10），所述过滤箱（10）的内腔通过螺栓固定连接有竹炭纤维过滤网（9）和高密度过滤网（11），所述过滤箱（10）的顶部固定安装有风机（12），所述风机（12）的输出端固定连接有波纹管（13），所述波纹管（13）的输出端固定连接有增压泵（14），所述增压泵（14）的输出端固定连接有气枪（15），所述增压泵（14）的表面通过螺栓固定连接有固定杆（7），所述底板（1）顶部的后侧固定连接有竖板（16），所述竖板（16）正面的上端通过螺栓固定安装有检测仪本体（17），所述检测仪本体（17）的正面嵌设有显示屏（19），所述检测仪本体（17）的底部设置有检测探头（18）。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆检测用高效抗干扰的检测仪，其特征在于：所述底板（1）的背面固定连接有电池盒（26），所述电池盒（26）的内腔固定连接有蓄电池（24），所述电池盒（26）的右侧开设有充电口（25），所述充电口（25）的输出端与蓄电池（24）的输入端单向电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆检测用高效抗干扰的检测仪，其特征在于：所述过滤箱（10）正表面的四周通过螺栓固定连接有活动门（23），所述活动门（23）正面的中端嵌设有可视窗（22）。
4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆检测用高效抗干扰的检测仪，其特征在于：所述检测探头（18）的底部设置有多个调节镜头（21），且检测探头（18）的表面活动连接有旋转钮（20）。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆检测用高效抗干扰的检测仪，其特征在于：所述过滤箱（10）底部的中端开设有透气孔（8），所述透气孔（8）为圆形设置。
6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆检测用高效抗干扰的检测仪，其特征在于：所述底板（1）底部的两侧固定连接有支撑腿，且支撑腿的底部固定连接有防滑垫。
一种半导体晶圆检测用高效抗干扰的检测仪专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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