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一种半导体加工研磨设备

一种半导体加工研磨设备

IPC分类号 : B24B19/22,B24B47/22,B24B41/06

申请号
CN202122451433.7
可选规格
  • 专利类型: 实用新型专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2021-10-12
  • 公开号: CN216371527U
  • 公开日: 2022-04-26
  • 主分类号: B24B19/22
  • 专利权人: 陈冲

专利摘要

本实用新型公开了一种半导体加工研磨设备,包括矩形槽,所述矩形槽的底部固定连接有支撑板,且所述支撑板的底部靠近四角处均固定连接有支撑腿,所述支撑板顶部靠近右侧处开设有第一通孔,通过设置升降机构,第一齿条板、竖板、传动齿轮、直杆、摆动板、摆动杆和推板这些部件的相互配合,对研磨机本体进行上下移动,便于研磨工作展开,通过设置夹持机构,通过夹板、转动杆、固定杆、第一锥形齿轮、第二锥形齿轮、竖杆、第三锥形齿轮、第四锥形齿轮、第二齿条板、支撑座、转动齿轮、传动杆、第五锥形齿轮、第六锥形齿轮和螺纹套这些部件的相互配合,对半导体自动夹持,避免夹持不稳,导致研磨成品的品质。

权利要求

1.一种半导体加工研磨设备,包括矩形槽(1),其特征在于:所述矩形槽(1)的底部固定连接有支撑板(2),且所述支撑板(2)的底部靠近四角处均固定连接有支撑腿,所述支撑板(2)顶部靠近右侧处开设有第一通孔,所述支撑板(2)的顶部中间位置处固定连接有支撑座(22),所述支撑板(2)顶部中间位置处设有夹持机构,所述矩形槽(1)前侧开设有开口,所述矩形槽(1)前侧设有与开口相匹配的开关门,所述开关门的左侧设有若干个合页,所述开关门通过若干个合页与矩形槽(1)活动连接,且所述开关门前侧靠近右侧处固定连接有把手,所述矩形槽(1)内腔左侧靠近顶部处固定连接有电动伸缩杆(3),所述矩形槽(1)内腔左右两侧均开设有第一滑槽,两个所述第一滑槽的内腔均活动连接有第一滑块,两个所述第一滑块相对的一侧共同固定连接有移动板(11),所述移动板(11)的顶部设有升降机构,所述移动板(11)的底部中间位置处固定连接有研磨机本体(12)。

2.如权利要求1所述的一种半导体加工研磨设备,其特征在于:所述升降机构包括第一齿条板(4),所述第一齿条板(4)的左侧固定连接在电动伸缩杆(3)的右端,所述矩形槽(1)内腔顶部靠近中间位置处固定连接有竖板(5),所述竖板(5)的前侧固定连接有第一轴承,所述第一齿条板(4)的底部啮合有传动齿轮(6),所述传动齿轮(6)圆心处贯穿设有直杆(7),所述直杆(7)的后端插接在第一轴承的内腔。

3.如权利要求2所述的一种半导体加工研磨设备,其特征在于:所述第一齿条板(4)的顶部固定连接有第二滑块,所述矩形槽(1)内腔顶部开设有第二滑槽,所述第二滑块活动连接在第二滑槽的内腔。

4.如权利要求2所述的一种半导体加工研磨设备,其特征在于:所述直杆(7)前端固定连接有摆动板(8),所述摆动板(8)前侧靠近左侧处固定连接有支撑杆,所述支撑杆的前端活动连接有摆动杆(9),所述摆动杆(9)远离摆动板(8)的一端活动连接有推板(10),所述推板(10)的底部与移动板(11)的顶部固定连接。

5.如权利要求1所述的一种半导体加工研磨设备,其特征在于:所述夹持机构包括第二齿条板(21),所述第二齿条板(21)的顶部固定连接在移动板(11)的底部靠近右侧处,所述移动板(11)的左侧靠近底部处啮合有转动齿轮(23),所述转动齿轮(23)后侧圆心处贯穿设有固定杆(15),所述矩形槽(1)内腔后侧靠近底部处固定连接有第二轴承,所述固定杆(15)的后端插接在第二轴承的内腔。

6.如权利要求5所述的一种半导体加工研磨设备,其特征在于:所述固定杆(15)的前端固定连接有第六锥形齿轮(26),所述第六锥形齿轮(26)的左侧啮合有第五锥形齿轮(25),所述第五锥形齿轮(25)左侧圆心处固定连接有传动杆(24),所述支撑板(2)的顶部靠近右侧处固定连接有安装板,所述安装板的左侧固定连接有第三轴承,所述传动杆(24)的左端贯穿第三轴承的内腔,并固定连接有第四锥形齿轮(20),所述第四锥形齿轮(20)的底部啮合有第三锥形齿轮(19),所述第三锥形齿轮(19)底部圆心处固定连接有竖杆(18),所述支撑板(2)的底部靠近中间位置处固定连接有第四轴承,所述竖杆(18)的底端插接在第四轴承的内腔,所述竖杆(18)的外侧靠近底端处套设有第一锥形齿轮(16)。

7.如权利要求6所述的一种半导体加工研磨设备,其特征在于:所述第一锥形齿轮(16)的底部啮合有第二锥形齿轮(17),所述第二锥形齿轮(17)的左侧圆心处固定连接有转动杆(14),所述转动杆(14)的外侧靠近两端处开设有两个相反螺纹,所述支撑板(2)的顶部开设有第三滑槽,所述第三滑槽的内腔活动连接有两个第三滑块,两个所述第三滑块的顶部均固定连接有夹板(13),两个所述夹板(13)的左侧靠近底部处均固定连接有螺纹套(27),所述支撑座(22)的左侧开设有第二通孔,所述转动杆(14)的外侧均与相邻螺纹套(27)活动连接,且所述转动杆(14)的右端贯穿第二通孔的内腔,并延伸至外侧。

一种半导体加工研磨设备专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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