专利摘要
本实用新型属于半导体模具加工技术领域,尤其为一种半导体生产抛光头模具打磨装置,针对在抛光头长时间使用后容易出现磨损,在进行抛光加工时,容易对半导体造成损伤的问题,现提出如下方案,其包括底板,所述底板的顶部转动安装有支撑轴,支撑轴的顶端固定安装有放置座,放置座的顶部开设有放置槽,底板的顶部固定安装有气缸,气缸的活塞轴上固定焊接有滑板,底板的顶部开设有滑槽,滑板滑动连接在滑槽内,滑板的一侧固定安装有电机,电机的输出轴上固定连接有打磨头,滑板的一侧转动安装有横轴。本实用新型结构设计合理,可以通过转动相反的打磨头与抛光头对抛光头进行打磨,对抛光头的打磨效果好,效率高。
权利要求
1.一种半导体生产抛光头模具打磨装置,包括底板(1),其特征在于,所述底板(1)的顶部转动安装有支撑轴(2),所述支撑轴(2)的顶端固定安装有放置座(3),所述放置座(3)的顶部开设有放置槽(4),所述底板(1)的顶部固定安装有气缸(5),所述气缸(5)的活塞轴上固定焊接有滑板(6),所述底板(1)的顶部开设有滑槽,所述滑板(6)滑动连接在滑槽内,所述滑板(6)的一侧固定安装有电机(7),所述电机(7)的输出轴上固定连接有打磨头(8),所述滑板(6)的一侧转动安装有横轴(9),所述电机(7)的输出轴的外侧与横轴(9)的外侧均固定套设有皮带轮(10),两个皮带轮(10)上传动连接有同一个皮带(11),所述横轴(9)的一端固定焊接有矩形杆(12),所述底板(1)的顶部转动安装有连接轴(13),所述矩形杆(12)滑动连接在连接轴(13)内,所述支撑轴(2)的外侧与连接轴(13)的一端均固定安装有锥形齿轮(15),两个锥形齿轮(15)相啮合。
2.根据权利要求1所述的一种半导体生产抛光头模具打磨装置,其特征在于,所述底板(1)的顶部开设有安装槽,所述安装槽内固定安装有轴承的外圈,所述支撑轴(2)与轴承的内圈固定套接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体生产抛光头模具打磨装置,其特征在于,所述放置座(3)的一侧开设有螺纹孔,所述螺纹孔内螺纹连接有抵紧螺栓。
4.根据权利要求1所述的一种半导体生产抛光头模具打磨装置,其特征在于,所述滑槽内固定安装有限位杆,所述滑板(6)滑动套设在限位杆的外侧。
5.根据权利要求1所述的一种半导体生产抛光头模具打磨装置,其特征在于,所述底板(1)的顶部固定安装有固定板,所述连接轴(13)转动安装在固定板的内侧。
6.根据权利要求1所述的一种半导体生产抛光头模具打磨装置,其特征在于,所述连接轴(13)的一侧开设有矩形槽(14),所述矩形杆(12)滑动连接在矩形槽(14)内。
一种半导体生产抛光头模具打磨装置专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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