专利名称

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高速精密运动平台的两级光栅定位方法

一种基于柔顺并联机构的多自由度纳米定位平台

一种硅纳米孔结构及其制作方法

一种抗倒伏微结构

一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法

一种锥形微孔阵列及其制备方法

一种环形微孔的激光加工装置及方法

一种用于制备纳米层状复合材料的模具及方法

纳米尖锥状聚合物阵列的简易制备方法及SERS应用

一种任意三维微结构的加工方法

基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法

一种具有等离子体聚焦性能的折线型纳米间隙及其制备方法

基于飞秒激光的大规模阵列石墨烯纳机电谐振器制备方法

一种刻蚀方向可控的硅纳米孔结构制作方法

一种基于光学操控的纳米孔阵列的可控加工方法及装置

一种基于单电子晶体管的电荷探针及其制备方法

一种具有微纳米形态模具的加工方法

一种柔性大行程微纳加工设备

打印式数字微流体装置的使用及其制造方法

具有检测压阻元件的扭转模态下超薄硅微机械悬臂梁及压阻检测方法

一种纳米及微米孔的加工方法

一种非光刻的介观尺度结构力学组装成型方法

一种微纳通孔模板及其制备方法与应用

一种基于单电子晶体管的电荷探针

纳米间隙原位活化的复合阳极键合方法

一种复杂三维结构微通道的加工方法

一种粘接单晶硅和蓝宝石的方法

一种大面积的三维复合纳米结构及其制备方法

一种PDMS微流控芯片中通孔结构的制作方法

一种硅基异质集成4H-SiC外延薄膜结构的制备方法

一种用于MEMS器件制作的对准键合装置

一种可扩展的套管型微流控芯片的制备方法

一种多级微纳马达的制备方法

微型立体器件及其制备方法和应用

一种抗水流冲击的体硅腐蚀配套设备

一种柔性薄膜基底上微纳米结构的高精度制备方法

一种基于微机电系统的阵列剥离方法

集成MOS器件的CMOS湿度传感器形成方法

一种近红外光电器件的加工方法

一种加热光照控制合成的金纳米颗粒阵列结构及其合成方法

石英晶圆深微孔加工设备及方法

一种空腔式压力传感器及其制备方法

基于压电陶瓷的高速高精度宏微平台及切换方法

复合阳极键合装置

基于SOI工艺的场发射离子中和器芯片的制造方法

抗磁性材料制备高精度微测球的重力抵消装置

多参数高通量SERS活性微针的制备方法及活性微针

光调制热成像焦平面阵列的制作方法

微流体器件及其制备方法、微流体系统

用于微电极与柔性排线之间热压焊接的方法

制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法