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申请号
专利名称
CN201911292116.6
一种用于制备纳米层状复合材料的模具及方法
CN201611150104.6
基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法
CN201810771605.9
微流体器件及其制备方法、微流体系统
CN201810464245.8
微型立体器件及其制备方法和应用
CN201811642516.0
一种近红外光电器件的加工方法
CN201910002217.9
基于SOI工艺的场发射离子中和器芯片的制造方法
CN200810056421.0
制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法
CN200710178773.9
石英晶圆深微孔加工设备及方法
CN201811437611.7
用于微电极与柔性排线之间热压焊接的方法
CN201811466584.6
一种粘接单晶硅和蓝宝石的方法
CN201811232182.X
一种非光刻的介观尺度结构力学组装成型方法
CN201811347796.2
一种硅基异质集成4H-SiC外延薄膜结构的制备方法
CN201910263937.0
一种空腔式压力传感器及其制备方法
CN200710064861.6
一种抗水流冲击的体硅腐蚀配套设备
CN201710538235.X
抗磁性材料制备高精度微测球的重力抵消装置
CN201810372288.3
一种用于MEMS器件制作的对准键合装置
CN201820309107.8
复合阳极键合装置
CN201810199162.0
一种柔性薄膜基底上微纳米结构的高精度制备方法
CN201480070664.3
打印式数字微流体装置的使用及其制造方法
CN201710156275.8
一种大面积的三维复合纳米结构及其制备方法
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