专利名称

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一种基于柔顺并联机构的多自由度纳米定位平台

高速精密运动平台的两级光栅定位方法

一种微型执行器及其制备方法

一种固态纳米孔结构

一种微结构及具有该微结构的柔性表层结构

一种控制硅基微结构内部空腔形成位置的研究方法

一种基于拉链梳齿的MEMS驱动器及其工作方法

一种基于双梯度锥形孔阵列的复合结构膜及其制备方法

一种硅纳米孔结构及其制作方法

一种磁场传感器

一种抗倒伏微结构

一种B掺杂SiC纳米线大应变系数高灵敏压力传感器

一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法

一种立体构造石墨烯纳米发电装置及其制备方法

CMOS湿度传感器

一种锥形微孔阵列及其制备方法

多气隙阻性井型探测器、放大单元、基材及制备方法

一种仿秦岭箭竹叶防冰雪多层不等高微纳结构

一种全电极凸纹结构CMUT器件的制备方法

一种环形微孔的激光加工装置及方法

一种用于制备纳米层状复合材料的模具及方法

集成机械能收集与振动检测功能的微器件

一种基于二维材料制备三维结构的方法

超薄氮化物微纳静电驱动器及其制备方法

一种仿瓶子草液膜快速搬运表面织构

基于可控纳米裂纹实现的互补电阻开关器件及其控制方法

纳米尖锥状聚合物阵列的简易制备方法及SERS应用

基于飞秒激光的大规模阵列石墨烯纳机电谐振器制备方法

一种任意三维微结构的加工方法

基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法

用于微流体系统的开关

静电致动器和用于生产其的方法

一种单片集成空间磁矢量传感器

一种石墨烯高温压力传感器封装方法

一种人工耳蜗电极及其制备方法

一种具有等离子体聚焦性能的折线型纳米间隙及其制备方法

一种可见光双向吸收体结构

一种刻蚀方向可控的硅纳米孔结构制作方法

一种基于光学操控的纳米孔阵列的可控加工方法及装置

打印式数字微流体装置的使用及其制造方法

单壁碳纳米管的悬空结构

一种具有短距离离子选择性的仿生纳米通道及其制备方法

一种基于单电子晶体管的电荷探针及其制备方法

一种具有微纳米形态模具的加工方法

一种柔性大行程微纳加工设备

一种非光刻的介观尺度结构力学组装成型方法

一种检测柱状自组装薄膜结构的方法及其制备方法

具有检测压阻元件的扭转模态下超薄硅微机械悬臂梁及压阻检测方法

一种纳米及微米孔的加工方法

一种基于键合工艺的热式风速风向传感器及其制备方法

一种动态快速调控红外光透过率的柔性器件及其制备方法和应用

大面积多级次表面褶皱结构及其制备

一种微纳通孔模板及其制备方法与应用

一种MEMSSOI压力传感器及其制备方法

一种基于单电子晶体管的电荷探针

非致冷红外探测器的低温真空封装结构及制作方法

静电致动器中的弧形运动控制

一种用于MEMS器件隔振的双层隔振结构及制备方法

一种粘接单晶硅和蓝宝石的方法

差压/绝压/温度三参数单片集成传感器芯片