专利摘要
一种空心纳米球阵列传感器的制备方法,包括如下步骤:(a)衬底基材预处理;(b)光刻蚀法对预处理的硅衬底进行加工;(c)正丙醇中清洗、通氮气干燥;(d)选取Ti作为附着层,Au作为检测电极,采用辉光真空镀膜方法对干燥后的样品进行检测电极沉积;(e)通过剥离技术去除步样品表面残余的光刻胶;(f)制备溶胶溶液,对干燥后的样品衬底进行旋涂制膜;(g)对样品先进行后置热蒸水热处理,然后通氮气保护进行焙烧,制备传感材料与器件一体的气体传感器。本发明把握有害气体分子(SO2)检测技术与应用技术创新的平衡点,实现材料制备与器件集成相统一,提升传感器对SO2的特征识别能力以及对响应信号的快速提取和增强能力。
专利附图
一种空心纳米球阵列传感器的制备方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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