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采用激光波长修正式角反射镜激光干涉仪的测量方法

采用激光波长修正式角反射镜激光干涉仪的测量方法

IPC分类号 : G01B9/02; G01B11/02

申请号
CN201510852430.0
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2015/11/27
  • 公开号: CN105352435A
  • 公开日: 2016/2/24
  • 主分类号: G01B9/02
  • 专利权人: 成都信息工程大学

专利摘要

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪及测量方法,所述激光波长修正式角反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定角反射镜、光电探测器、测量角反射镜装置和分光镜,所述测量角反射镜装置包括测量角反射镜和精密位移装置,所述精密位移装置为所述测量角反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中,将被测物体实际位移中超出半个激光波长的小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中,进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确,同时在距离测量过程中,精密位移装置进行若干整数波长精确位移,通过精确的距离反求环境等效激光波长,进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。

专利附图

采用激光波长修正式角反射镜激光干涉仪的测量方法

采用激光波长修正式角反射镜激光干涉仪的测量方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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