IPC分类号 : B23K31/00; C23C30/00; C23F1/30; C23F1/10
专利摘要
本发明公开了一种抑制界面IMC生长的微焊点的制备方法,其包括如下步骤:步骤一,沉积薄膜,提供两块金属基底,在所述金属基底的焊接面上沉积有Co‑P纳米晶薄膜,该Co‑P纳米晶薄膜中P的原子百分比为0.1~10at.%;步骤二,钎焊,将两块金属基底的焊接面对准,以纯Sn作为钎料,利用浸焊在两块金属基底的焊接面之间制得Co‑P/Sn/Ag微互连结构;步骤三,超声刻蚀处理,对制得的Co‑P/Sn/Co‑P微互连结构进行超声刻蚀处理,除去未反应的纯Sn钎料,在金属基底上得到Co‑P/CoSn3结构;步骤四,回流焊,将刻蚀后的Co‑P/CoSn3结构用SnAg锡膏连接,并进行回流焊,得到具有Co‑P/SnAg/Co‑P微互连结构的微焊点。其能够有效抑制使用过程中温度梯度造成的原子迁移,同时能够抑制界面IMC在热迁移下的继续生长,提高微焊点的可靠性。
专利附图
一种抑制界面IMC生长的微焊点的制备方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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