专利摘要
本发明公开了一种物联网用无源无线的加速度传感芯片及其加工方法,其中芯片包括上层结构和下层结构;所述下层结构包括下层衬底片,该下层衬底片上设有串联的MEMS电容和MEMS电感;上层结构包括上层衬底片,MEMS加速度感应的可动导体质量块和支撑梁,支撑梁与上层衬底片连接,固定在下层结构上方,可动导体质量块通过支撑梁悬浮于MEMS电感上方,可动导体质量块底部淀积有金属层;当加速度传感芯片有垂直于该可动导体质量块的加速度时,该可动导体质量块会随之上下运动。
专利附图
物联网用无源无线的加速度传感芯片及其加工方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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