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基于头发丝作为碳源使用MPCVD法生长单晶金刚石的方法

基于头发丝作为碳源使用MPCVD法生长单晶金刚石的方法

IPC分类号 : C23C16/27; C23C16/517

申请号
CN201711353968.2
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2017/12/15
  • 公开号: CN108070842A
  • 公开日: 2018/5/25
  • 主分类号: C23C16/27
  • 专利权人: 武汉工程大学

专利摘要

本发明公开了一种基于头发丝作为碳源使用MPCVD法生长单晶金刚石的方法,该方法包含以下步骤:第一步:提供生产单晶金刚石的合成装置和固定样品台;第二步:将成捆头发丝插入固定样品台上的插口中,将固定样品台放入反应腔内,向腔体内通入氢气形成等离子体,利用等离子体对头发丝进行灼烧,使其气化;第三步,将气化的气体收集并纯化后通入另一反应腔内;第四步:沉积单晶金刚石完成。本发明利用微波等离子体化学气相沉积法高温灼烧头发丝使其气化,利用其碳源生产单晶金刚石,并获得了质量较好的单晶金刚石。

专利附图

基于头发丝作为碳源使用MPCVD法生长单晶金刚石的方法

基于头发丝作为碳源使用MPCVD法生长单晶金刚石的方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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