专利摘要
本发明属于一维纳米结构半导体氧化物气敏传感器制备技术领域,涉及一种利用化学气相沉积方法制备可以在室温条件下进行检测一氧化碳的梳状纳米结构氧化锌气敏传感器的方法,先按照需要选择晶体的生长条件,利用改进的化学气相沉积法制备出梳状纳米结构氧化锌;再将梳状纳米结构氧化锌分散到金单元格阵列上,将存在氧化锌的两相邻单元格用微电极连接,采用常规半导体封装工艺封装在外壳内,制备出氧化锌气敏传感器;传感器在常温下工作,其结构简单,功耗小;制备工艺简单,成本低,生长的氧化锌晶体纯度高、完整性好;气体接触反应的表面积大;接触电阻小,梳干处的氧化锌起收集、传导电流的作用,传感灵敏度高。
专利附图
一种梳状纳米结构氧化锌气敏传感器的制备方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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