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双面平坦化加工系统

双面平坦化加工系统

IPC分类号 : B24B37/07; B24B37/20; B24B37/34

申请号
CN201610917180.9
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2016/10/20
  • 公开号: CN106312796A
  • 公开日: 2017/1/11
  • 主分类号: B24B37/07
  • 专利权人: 广东工业大学

专利摘要

本发明公开了一种平坦化加工装置、单面及双面平坦化加工系统,平坦化加工装置包括:多个用于形成多点自旋转阵列磁极的永磁铁,永磁铁同向或异向端面平齐排布,永磁铁通过磁极安装端盖设置于磁极安装盘内,永磁铁对应设于转轴的第一端,磁极安装盘上设有抛光盘,转轴的第二端连接用于驱动永磁铁同步转动的磁极同步转动电机及传动系统;设于抛光盘上的阵列正电极和阵列负电极,阵列正电极、阵列负电极与磁极安装盘三者相互绝缘设置,阵列正电极与阵列负电极连接低频高压方波交变电源;设于抛光盘中的混合有磨料的电磁流变液,电磁流变液在动态磁场与低频高压方波交变电场的耦合作用下形成抛光垫。此装置提高了工件表面的平坦化加工的质量与效率。

专利附图

双面平坦化加工系统

双面平坦化加工系统专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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