专利摘要
一种面向第三代半导体材料的加工装置,包括反应装置、操作台和支撑装置;反应装置的内部为反应腔,且上下两端盖有上盖和下盖;反应腔的侧壁设有刻蚀液注入口和刻蚀液排出口;反应腔内部设有搅拌励磁线圈、导电棒、加热棒、密封圈和工件;搅拌励磁线圈安装于上盖的正下方;导电棒和加热棒分别呈圆周对称紧贴于反应腔的腔壁内;密封圈设有两件,安装于反应腔的底部,并且密封圈套接于下盖内;工件安装于两个密封圈之间;上盖的中间开设有第一通孔;反应腔的底部、密封圈和下盖的中间均开设有同轴度的第二通孔;本发明提出的加工装置,克服难以高效地在第三代半导体材料上加工出规则的纳米微结构的问题,实现第三代半导体材料高效可控加工。
专利附图
一种面向第三代半导体材料的加工装置专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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