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一种非晶态氮化镓或氮化铟薄膜晶体管及其制备方法

一种非晶态氮化镓或氮化铟薄膜晶体管及其制备方法

IPC分类号 : H01L29/786; H01L29/04; H01L21/336; H01L21/205

申请号
CN201410026623.6
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2014/1/21
  • 公开号: CN103779424A
  • 公开日: 2014/5/7
  • 主分类号: H01L29/786
  • 专利权人: 江苏大学

专利摘要

本发明涉及一种功能薄膜制备方法及应用领域,特指一种非晶态氮化镓或氮化铟薄膜晶体管及其制备方法。采用等离子体化学气相沉积技术,利用有机源、氨气作为反应源;利用氢气或氮气作为有机源载气源,利用硅烷、三甲基镁作为掺杂剂,在衬底上分别制备n型、p型非晶态氮化镓或氮化铟;并以n型、p型非晶态氮化镓或氮化铟薄膜作为薄膜晶体管的沟道层,通过该方法制作的非晶态氮化镓或氮化铟薄膜及非晶态氮化镓或氮化铟薄膜晶体管是在廉价的衬底上得到的,因此大大降低了制造成本;本发明的材料均匀程度高、杂质含量低、器件与衬底黏附力大等优点;另外本发明方法具有操作简便、适于大面积连续生产等优点。

专利附图

一种非晶态氮化镓或氮化铟薄膜晶体管及其制备方法

一种非晶态氮化镓或氮化铟薄膜晶体管及其制备方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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