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一种石墨烯电磁线圈的PVD成膜方法

一种石墨烯电磁线圈的PVD成膜方法

IPC分类号 : C23C14/30; C23C14/06; C23C14/58; C23C14/32

申请号
CN201811234574.X
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2018/10/23
  • 公开号: CN109182982A
  • 公开日: 2019/1/11
  • 主分类号: C23C14/30
  • 专利权人: 集美大学

专利摘要

本发明公开了一种石墨烯电磁线圈的PVD成膜方法,包括七个步骤。本发明通过电子束在石墨烯电磁线圈的表面镀上一层DLC薄膜,再通过离子束将电磁线圈上的DLC膜层形成附着力更大的高致密性DLC膜层,极大的提高了石墨烯电磁线圈的稳定性和致密性。本发明通过电弧靶在DLC膜层的表面镀上一层外膜层,电弧靶的靶材为Ti、Ag、Ni中的任意一种或者它们的组合,使得外膜层为Ti、Ag、Ni的组合物,使得石墨烯电磁线圈具有一定的防菌性能,进一步加强了石墨烯电磁线圈的硬度以及稳定性。

一种石墨烯电磁线圈的PVD成膜方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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