专利摘要
本发明公开了一种基于微分干涉的光学薄膜缺陷检测方法,包括:分别调整入射的光源为平面光波、待检测的光学薄膜的表面与平面光波垂直;平面光波依次经过光栏、光学薄膜、第一准直透镜和柱状透镜后,通过微分干涉形成两束平行的出射光;两束平行的出射光经过第二准直透镜,在光电探测器上成像为微分干涉图像;对微分干涉图像进行分析,获取光学薄膜的表面和内部缺陷。本发明利用微分干涉获取光学薄膜表面以及内部的具有较强立体感的清晰图像,易于进行缺陷的分辨,不仅可以同时检测上表面、下表面以及内部缺陷,且检测结果不受外界环境的背景光以及光学薄膜表面反光特性的影响,具有容易实现和成本低廉等优点,适于在工厂生产线推广普及。
专利附图
基于微分干涉的光学薄膜缺陷检测方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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