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制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列

制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列

IPC分类号 : C23C16/40; C23C16/455; C23C16/52; C30B25/14; C30B25/16; C30B29/22

申请号
CN201710579260.2
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2015/11/11
  • 公开号: CN107557756A
  • 公开日: 2018/1/9
  • 主分类号: C23C16/40
  • 专利权人: 南通大学

专利摘要

一种用于制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列,由铋前驱体气体脉冲、镓前驱体气体脉冲、氧前驱体气体脉冲、惰性气体脉冲组成,所述气体脉冲序列通入真空反应腔中;化学吸附反应在真空反应腔中进行,铋前驱体气体脉冲、镓前驱体气体脉冲、氧前驱体气体脉冲、惰性气体脉冲按照一定的次序依次通入真空反应腔中。通过采用本发明的制备BiGaO3薄膜材料的方法,可以实现BiGaO3薄膜生长厚度的精确可控,且BiGaO3薄膜表面平整度大大优于现有技术。

专利附图

制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列

制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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