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一种具有纳米层状结构的二硼化钛/钨涂层及其制备方法

一种具有纳米层状结构的二硼化钛/钨涂层及其制备方法

IPC分类号 : C23C14/35; C23C14/06; C23C14/18; C23C14/16; B82Y40/00

申请号
CN201710317254.X
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2017/5/8
  • 公开号: CN107190241A
  • 公开日: 2017/9/22
  • 主分类号: C23C14/35
  • 专利权人: 广东工业大学

专利摘要

本发明公开了一种具有纳米层状结构的二硼化钛/钨涂层及其制备方法,所述TiB2/W涂层是以TiB2陶瓷靶和喷涂W靶为原料,通过多靶磁控溅射在基体上交替溅射沉积形成由TiB2陶瓷层与金属W层相互叠加的纳米层状结构的二硼化钛/钨涂层。其中涂层中金属W层与TiB2陶瓷层的层数为10‑100层,每层金属W层的厚度为1‑10nm,每层TiB2层的厚度为10‑50nm。本发明的纳米层状结构的TiB2/W涂层表现出了良好的韧性和很高的硬度,这极大的扩大了此涂层的应用范围,同时本发明用于制备纳米层状结构TiB2/W涂层的磁控溅射双靶共沉积技术操作方便,无需后处理等工艺,制备周期短,成本低,可复现性好,可实现工业化大生产。

专利附图

一种具有纳米层状结构的二硼化钛/钨涂层及其制备方法

一种具有纳米层状结构的二硼化钛/钨涂层及其制备方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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