IPC分类号 : B81B7/00; G01L1/18; G01L9/06; B81C3/00; B82Y15/00
专利摘要
本发明涉及一种B掺杂SiC纳米线大应变系数高灵敏压力传感器,包括原子力显微镜探针(含Pt/It镀层)、Si片和负载于Si片上的B掺杂SiC纳米线。其制备方法为:将有机前驱体进行预处理得到有机前躯体粉末,取有机前躯体粉末和氧化硼粉末为原料;将催化剂形成于柔性衬底上;然后将原料及柔性衬底一起置于气氛烧结炉中,经程序升温进行热解后再经程序降温生长,制备得到B掺杂SiC纳米线。然后将B掺杂SiC纳米线分散于溶剂中形成混合溶液,然后通过该混合溶液将B掺杂SiC纳米线负载于Si片上,制备成一种应变系数高、灵敏度高的B掺杂SiC纳米线大应变系数高灵敏压力传感器。
专利附图
一种B掺杂SiC纳米线大应变系数高灵敏压力传感器专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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