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一种超声喷雾热解镀膜装置

一种超声喷雾热解镀膜装置

IPC分类号 : C23C18/12

申请号
CN201510203385.6
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2015/4/27
  • 公开号: CN104762613A
  • 公开日: 2015/7/8
  • 主分类号: C23C18/12
  • 专利权人: 重庆文理学院

专利摘要

本发明公开了一种超声喷雾热解镀膜装置,包括气柜(1)、超声雾化装置、喷雾头、和带基片(2)的加热台(3),其特征是:所述气柜(1)通过进气管(4)与超声雾化装置连通,所述超声雾化装置通过管道(5)与喷雾头连通,所述喷雾头位于加热台(3)方且与加热台(3)相对应,在所述加热台(3)下方设置有XY移动平台(13),在所述超声雾化装置外设置有冷却装置。本发明具有结构设计巧妙、操作方便、成本低廉的优点,采用它不但能够长时间进行大面积薄膜的制备,使薄膜的产品面积和厚度得到控制,而且还解决了镀膜过程中滴水问题的产生,提高了薄膜产品的成品率及品质。

专利附图

一种超声喷雾热解镀膜装置

一种超声喷雾热解镀膜装置专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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