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传输方向可调式的多级磁场电弧离子镀方法

传输方向可调式的多级磁场电弧离子镀方法

IPC分类号 : C23C14/32

申请号
CN201510575622.1
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2015/9/10
  • 公开号: CN105088150A
  • 公开日: 2015/11/25
  • 主分类号: C23C14/32
  • 专利权人: 魏永强

专利摘要

传输方向可调式的多级磁场电弧离子镀方法,属于材料表面处理技术领域,本发明为解决低熔点的纯金属或多元合金材料和非金属材料(比如石墨)在电弧离子镀中的大颗粒问题和低熔点靶材使用局限,拓展电弧离子镀靶材使用范围和薄膜制备的领域。本发明方法包括:一、将待镀膜的工件置于真空室内的样品台上,接通相关电源;二、薄膜沉积:待真空室内的真空度小于10‑2Pa时,通入工作气体并调整气压,开启镀膜电源,偏压电源,通过多级磁场直管磁过滤装置消除大颗粒缺陷和保证电弧等离子体的传输效率,再利用传输方向可调式磁场装置保证电弧等离子体可以到达真空室内任意位置的基体表面,设置所需工艺参数,进行薄膜沉积。

专利附图

传输方向可调式的多级磁场电弧离子镀方法

传输方向可调式的多级磁场电弧离子镀方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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