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一种自组装纳米氧氮化物涂层及其制备方法和应用

一种自组装纳米氧氮化物涂层及其制备方法和应用

IPC分类号 : C23C14/06; C23C14/35; C23C14/32; C23C14/02; B82Y40/00

申请号
CN201710340300.8
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2017/5/15
  • 公开号: CN107287555A
  • 公开日: 2017/10/24
  • 主分类号: C23C14/06
  • 专利权人: 广东工业大学

专利摘要

本发明公开一种自组装纳米氧氮化物涂层的制备方法,采用传统PVD技术制备,根据靶材不同距离范围内等离子体能量和密度分布不同的现象,通过调整样品转架自转及公转速度,改变样品在不同等离子体区域停留的时间,从而制备自组装纳米多层氧氮化物涂层。该涂层包括富氧层和富氮层,富氧层和富氮层交替沉积在基体上,涂层成分为Al:20~35at.%,Cr:10~25at.%,Si:0~15at.%,O:5~50at.%,N:10~50at.%。本发明的制备工艺简单,成本低廉,适应性好,兼顾氮化物以及氧化物涂层的优势,有很大的应用推广潜力。

专利附图

一种自组装纳米氧氮化物涂层及其制备方法和应用

一种自组装纳米氧氮化物涂层及其制备方法和应用专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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