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一种AlCrSiN/VSiN纳米多层涂层及其制备方法

一种AlCrSiN/VSiN纳米多层涂层及其制备方法

IPC分类号 : C23C14/32; C23C14/35; C23C14/06

申请号
CN201711041183.1
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2017/10/30
  • 公开号: CN107740053A
  • 公开日: 2018/2/27
  • 主分类号: C23C14/32
  • 专利权人: 广东工业大学

专利摘要

本发明提供了一种AlCrSiN/VSiN纳米多层涂层的制备方法,包括以下步骤:a)在基体表面使用阴极电弧蒸发沉积Al50Cr50N过渡层;b)使用高功率脉冲磁控电源溅射VSi靶,使用直流电弧电源阴极蒸发AlCrSi靶,在Ar气与N2气的混合气氛中反应沉积AlCrSiN/VSiN纳米多层涂层。本发明通过拟耦合使用电弧离子镀膜技术及高功率脉冲磁控溅射技术,利用纳米多层结构、纳米复合结构阻止V元素高温下的快速外扩散行为、增强涂层高温力学性能及抗高温抗氧化能力、抑制高温下钛与涂层之间的扩散反应,并且通过纳米多层、纳米复合结构与掺杂V元素的协同作用,使得AlCrSiN/VSiN涂层表面兼具抗高温氧化、自润性以及高耐磨特性,从而最终获得具有纳米多层结构、结合力优良且耐高温、自润滑的AlCrSiN/VSiN纳米多层涂层。

专利附图

一种AlCrSiN/VSiN纳米多层涂层及其制备方法

一种AlCrSiN/VSiN纳米多层涂层及其制备方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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