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一种在导电基体材料上制备纳米氮化钛层的方法

一种在导电基体材料上制备纳米氮化钛层的方法

IPC分类号 : C23C14/35;C23C14/32;C23C14/06;C23C14/16;B82Y40/00

申请号
CN201310572300.2
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2013-11-15
  • 公开号: CN103628032A
  • 公开日: 2014-03-12
  • 主分类号: C23C14/35
  • 专利权人: 桂林电子科技大学

专利摘要

本发明公开了一种在导电基体材料上制备纳米氮化钛层的方法,它是利用磁控溅射技术在基体表面沉积一层纳米级的纯金属或合金过渡层,再利用磁控溅射技术和电弧离子镀技术共同快速沉积一层氮化钛层,之后再利用磁控溅射技术沉积一层纳米级的氮化钛层。本发明利用磁控溅射沉积微细纳米粒子,提高过渡层的结合力;利用电弧离子镀沉积速度快的特点提高效率;利用磁控溅射沉积一层致密的和高质量的纳米级的氮化钛层提高表面质量。

一种在导电基体材料上制备纳米氮化钛层的方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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