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一种加快FePd薄膜相转变的方法

一种加快FePd薄膜相转变的方法

IPC分类号 : C23C14/18;C23C14/35

申请号
CN201711348406.9
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2017-12-15
  • 公开号: CN108060391A
  • 公开日: 2018-05-22
  • 主分类号: C23C14/18
  • 专利权人: 桂林电子科技大学

专利摘要

本发明属于合金薄膜技术领域,公开了一种加快FePd薄膜相转变的方法,所述加快FePd薄膜相转变的方法采用超高真空多靶磁控溅射仪制备薄膜样品;稀土Dy掺杂FePd层采用交替沉积的方法,由纯度在99.95%以上且原子百分比为47.5:52.5的FePd复合靶和纯度在99.99%的Dy片,通过控制Dy靶的溅射时间来控制FePd层中稀土的含量。本发明采用磁控溅射法制备了一系列Dyx(Fe47.5Pd52.5)100‑x颗粒膜,通过改变掺杂稀土Dy的含量,添加Dy的含量对FePd薄膜的结构和磁性能的影响。

专利附图

一种加快FePd薄膜相转变的方法

一种加快FePd薄膜相转变的方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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