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发光装置

发光装置

IPC分类号 : H01J65/00,H01J61/54

申请号
CN201280044715.6
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2012-08-13
  • 公开号: 103828017A
  • 公开日: 2014-05-28
  • 主分类号: H01J65/00
  • 专利权人: 浜松光子学株式会社

专利摘要

本发明的发光装置包括:准分子灯,其包含:灯框体,其在内部封入有放电用气体,且具有光出射部;放电电极,其设置于灯框体的外表面上;及管状部,其形成于灯框体上,自该灯框体朝外侧突出并延伸;供电部,其对放电电极供电;灯支撑部,其支撑准分子灯;触发电极,其向准分子灯施加成为触发的电压;触发供电部,其对触发电极供电;及外部框体,其容纳准分子灯、供电部、灯支撑部、触发电极、及触发供电部;且触发电极与管状部的外表面点接触。

权利要求

1.一种发光装置,其特征在于,

具备:

准分子灯,其包含:

灯框体,其在内部封入有放电用气体,且具有光出射部、

放电电极,其设置于所述灯框体的外表面上、及

管状部,其形成于所述灯框体,自该灯框体朝外侧突出并延伸;

供电部,其对所述放电电极供电;

灯支撑部,其支撑所述准分子灯;

触发电极,其对所述准分子灯施加成为触发的电压;

触发供电部,其对所述触发电极供电;及

外部框体,其容纳所述准分子灯、所述供电部、所述灯支撑部、所述触发电极、及所述触发供电部,

所述触发电极与所述管状部的外表面点接触。

2.如权利要求1所述的发光装置,其特征在于,

所述触发电极在与所述管状部的延伸方向交叉的方向上延伸,且在前端部与所述管状部的所述外表面点接触。

3.如权利要求1或2所述的发光装置,其特征在于,

所述管状部的壁厚小于所述灯框体的壁厚。

4.如权利要求1至3中任一项所述的发光装置,其特征在于,

所述触发电极在所述灯支撑部侧与所述管状部的所述外表面点接触。

5.如权利要求1至4中任一项所述的发光装置,其特征在于,

所述灯框体在一端侧被支撑于所述灯支撑部,

所述管状部形成于所述灯框体的所述一端侧,

所述灯支撑部包含容纳所述管状部的槽部。

6.如权利要求5所述的发光装置,其特征在于,

所述灯支撑部在所述槽部的底部具有贯通孔,

所述触发电极自所述贯通孔突出。

7.如权利要求1至6中任一项所述的发光装置,其特征在于,

进一步具备支撑所述触发电极的触发电极支撑部,

所述触发电极支撑部包含相对于所述管状部而按压所述触发电极的按压构件。

8.如权利要求1至7中任一项所述的发光装置,其特征在于,

所述外部框体具备:底面部,其固定所述灯支撑部;及盖部,其配置于与该底面部相对的位置上,

所述盖部具备:

框状部,其与所述底面部相对,并且与所述灯框体的外缘部相对;及

开口部,其被该框状部包围并且使所述光出射部露出,

所述准分子灯通过由所述盖部的所述框状部与所述灯支撑部夹持而保持。

9.如权利要求1至7中任一项所述的发光装置,其特征在于,

所述外部框体具备:底面部,其固定所述灯支撑部;及罩部,其配置于与该底面部相对的位置上,

所述罩部具有:

框状部,其与所述底面部相对,并且与所述灯框体的外缘部相对;

开口部,其被该框状部包围并且使所述光出射部露出;及

侧壁部,其自所述框状部的外缘部朝所述底面部侧延伸,

所述准分子灯通过由所述罩部的所述框状部与所述灯支撑部夹持而保持。

说明书

技术领域

本发明涉及一种使用准分子灯的发光装置。

背景技术

作为使用准分子灯的现有的发光装置而已知有如下结构,其包括:具有内侧的灯框体与外侧的灯框体的双层管构造的灯框体;设置于外侧灯框体的外周上的放电电极;设置于内侧灯框体上的放电电极;及用以施加触发电压的触发电极(例如,专利文献1)。该发光装置中,触发电极与内侧灯框体的本体部分接触。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本专利特开2003-86139号公报

发明内容

发明所欲解决的问题

在使触发电极与放电电极靠近的情形时,各电极间有可能产生放电。因此,必需使相互隔开一定距离。此处,现有的发光装置中,触发电极接触于灯框体的本体部,故而有必要使放电电极远离该接触位置。然而,尽管灯框体中可设置放电电极的区域受到限制,但为了远离触发电极,不得不使放电电极相对较小。由此,在现有的发光装置中,与灯框体整体的尺寸相比,实际的放电区域变小,从而存在无法确保有效发光范围的问题。另一方面,若确保较大的放电电极,则在触发电极与放电电极之间的放电的影响下,存在无法良好地实现灯的点灯的问题。

本发明为了解决上述问题而完成,其目的在于提供一种发光装置,其可实现灯的良好的点灯,与此同时,可确保充分大的有效发光范围。

解决问题的技术手段

本发明的发光装置包括:准分子灯,其包含:灯框体,其在内部封入有放电用气体,且具有光出射部;放电电极,其设置于灯框体的外表面上;及管状部,其形成于灯框体上,自该灯框体朝外侧突出并延伸;供电部,其对放电电极供电;灯支撑部,其支撑准分子灯;触发电极,其向准分子灯施加成为触发的电压;触发供电部,其对触发电极供电;及外部框体,其容纳准分子灯、供电部、灯支撑部、触发电极、及触发供电部;且触发电极与管状部的外表面点接触。

根据本发明的发光装置,准分子灯包括在外表面上设置有放电电极的灯框体。另外,准分子灯包括自其灯框体朝外侧突出并延伸的管状部。由于管状部自灯框体朝外侧延伸,故而可确保与灯框体的放电电极有充分的距离。触发电极与此种管状部的外表面点接触。即,无论设置于灯框体上的放电电极的形状或大小,均可使触发电极的接触部与放电电极充分地隔开。由此,通过防止触发电极与放电电极之间的放电而使灯可良好地点灯,另一方面,在灯框体上可在充分的范围设置放电电极。进而,通过点接触而可使电场集中,从而可使灯可更良好地点灯。根据以上所述,可实现灯的良好的点灯,与此同时,可确保充分大的有效发光范围。

发光装置中,触发电极也可在与管状部的延伸方向交叉的方向上延伸,且在前端部与管状部的外表面点接触。根据此种构成,在触发电极的前端部,可确实地与管状部的外表面点接触。

发光装置中,管状部的壁厚也可小于灯框体的壁厚。通过使管状部的壁厚较小而可提高放电开始能力。另一方面,通过使灯框体的壁厚较大而可在放电部分确保较高的强度(例如,相对于压力的物理强度、放电耐性)。

发光装置中,触发电极也可在灯支撑部侧与管状部的外表面点接触。根据此种构成,可将准分子灯设置于灯支撑部,与此同时,可使触发电极与管状部接触。由此,可使触发电极确实地与管状部接触。

发光装置中,灯框体也可在一端侧支撑于灯支撑部,管状部也可形成于灯框体的一端侧,灯支撑部也可包含容纳管状部的槽部。根据此种构成,灯框体由灯支撑部支撑,与此同时,管状部收纳于槽部中而受到保护。如此,通过以槽部保护管状部而可稳定地维持触发电极与管状部点接触的状态。

发光装置中,灯支撑部也可在槽部的底部具有贯通孔,触发电极也可自贯通孔突出。根据此种构成,触发电极在自贯通孔突出的部分确实地与管状部点接触,在被贯通孔包围的部分由该贯通孔保护。由此,可稳定地维持触发电极与管状部点接触的状态。

发光装置中,更包括支撑触发电极的触发电极支撑部,触发电极支撑部包含相对于管状部而按压触发电极的按压构件。由此,可使被按压构件按压的触发电极与管状部可靠地点接触。

发光装置中,外部框体也可包括:底面部,其固定灯支撑部;及盖部,其配置于与该底面部相对的位置上;且盖部包含:框状部,其与底面部相对,并且与灯框体的外缘部相对;及开口部,其被该框状部包围并且使光出射部露出;且准分子灯通过由盖部的框状部与灯支撑部夹持而保持。根据此种构造,通过关闭盖部而可以自上方按压的方式固定准分子灯。由此,可使管状部确实地与触发电极点接触。

发光装置中,外部框体也可包括:底面部,其固定灯支撑部;及罩部,其配置于与该底面部相对的位置上;罩部包含:框状部,其与底面部相对,并且与灯框体的外缘部相对;开口部,其被该框状部包围并且使光出射部露出;及侧壁部,其自框状部的外缘部朝底面部侧延伸;准分子灯通过由罩部的框状部与灯支撑部夹持而保持。根据此种构造,通过关闭罩部而可以自上方按压的方式固定准分子灯。由此,可使管状部确实地与触发电极点接触。

发明的效果

根据本发明,可实现灯的良好的点灯,与此同时,可确保充分大的有效发光范围。

附图说明

图1是本发明的实施方式的发光装置的立体图。

图2是图1所示的发光装置的分解立体图。

图3是沿图2所示的III-III线的剖面图。

图4是表示准分子灯及灯支撑部的结构的放大图。

图5是自短边方向观察灯支撑部及灯框体的一部分剖面图。

图6是沿图5所示的VI-VI的剖面图,且是将管状部附近放大的放大剖面图。

图7(a)、(b)是用于比较本实施方式的发光装置与比较例的发光装置的概念图。

图8(a)、(b)是比较例的发光装置的概念图。

图9是表示电压的施加状态及灯点亮状态的图表。

图10是表示变形例的发光装置的立体图。

符号说明

1          准分子灯

2          灯框体

3          背面电极(放电电极)

4          外部框体

6          壳体

6a         底面部

8          上盖(盖部)

8a         开口部

8b         框状部

11A、11B   灯支撑部

15         供电部

20         管状部

26         框状薄板(供电部)

30         光通过电极(放电电极、光出射部)

40         触发电极

41         前端部

50         触发变压器(触发供电部、触发电极支撑部)

51         触发电极支撑筒(触发电极支撑部)

52         弹簧部件(按压构件)

61         槽部

63         底部

66       贯通孔

100,400  发光装置

408      罩部

具体实施方式

以下,参照附图对本发明的发光装置的优选实施方式详细地进行说明。

图1是本发明的实施方式的发光装置的立体图。如图1所示,发光装置100以如下方式构成,即,将长方形平板状的准分子灯1容纳于长方体状的外部框体4内,并且在外部框体4的上盖(盖部)8的中央部形成长方形状的开口部8a,使准分子灯1的出射面露出。该发光装置100为如下装置,即通过对封入于准分子灯1的内部空间中的放电用气体施加高频电压而发光,且可自开口部8a射出所产生的光。在框体4的长边方向的一端侧的侧壁上,为了冷却外部框体4的内部空间而设置有排气口14,其将自未图示的多个进气口吸入的空气排出。

图2为图1所示的发光装置的分解立体图。图3为沿图2所示的III-III线的剖面图。图4为表示准分子灯及灯支撑部的构成的放大图。其中,图3中,为了容易地理解各零件的位置关系而以变形状态表示。如图2~图4所示,准分子灯1包括以下部分而构成:灯框体2,其通过相对于出射光为透明的介电体材料而形成为长方形平板状;管状部20,其形成于灯框体2上;网状的光通过电极(放电电极、光出射部)30,其遍及灯框体2的前表面2b的大致整体而形成;及长方形状的背面电极(放电电极)3,其与灯框体2的背面2c相对且与该背面2c接触。光通过电极30通过在沿前表面2b的外周缘部形成为长方形环状的电极的内部区域中形成网状的电极而构成。该准分子灯1的背面电极3与光通过电极30隔着封入有放电用气体的内部空间而相互相对。因此,将光通过电极30设为接地电位(ground potential),且对背面电极3与光通过电极30之间施加高频电压,由此可使内部空间的放电用气体发光,且可使所产生的光自灯框体2的前表面2b侧出射。再者,所谓高频电压是具有1MHz以上的频率的交流电压。

准分子灯1的平板状的灯框体2包括:长方形平板状的前表面基板22;及背面基板23,其以与前表面基板22相同的材质及相同的形状而形成,并且配置为与前表面基板22以特定的间隔而相对。自厚度方向观察时,前表面基板22的四方的外缘与背面基板23的四方的外缘配置为相互一致。再者,所谓「厚度方向」,是表示前表面基板22与背面基板23相对的方向,即,相对于前表面2b及背面2c而垂直的方向。该灯框体2将前表面基板22与背面基板23的四方的外周缘部彼此以长方形环状的周面壁24连接所形成的内部空间28密封而保持气密性。具体而言,周面壁24包括将前表面基板22的一对长缘部与背面基板23的一对长缘部彼此跨及长边方向全长而连结的一对侧面壁、及将前表面基板22的一对短缘部与背面基板23的一对短缘部彼此跨及宽度(短边)方向全长而接合并连结的一对侧面壁而构成。构成周面壁24的四方的侧面壁以分别与各基板22、23垂直的方式而竖立设置。再者,前表面基板22、背面基板23及周面壁24的壁厚设为均相同。前表面基板22的外表面构成灯框体2的前表面2b。背面基板23的外表面构成灯框体2的背面2c。灯框体2的一端2d侧的一部分支撑于下述的灯支撑部11A,另一侧2e侧的一部分支撑于下述的灯支撑部11B。

在灯框体2的长边方向的一端2d侧的周面壁24上,形成有用以在制造时进行内部空间28的排气并且封入放电用气体的管状部20。该管状部20形成于灯框体2的宽度方向及厚度方向的中央位置。管状部20自灯框体2的周面壁24朝外侧突出,且朝与灯框体2的延伸方向(长边方向)相同的方向而延伸。管状部20以使外周面20a构成圆柱面的方式,在维持特定的内径及外径的状态下具有轴对称性且水平地延伸,且前端部20b密封。再者,通常的准分子灯上所形成的芯片管在制造上不得不形成,故而在以尽量变短的方式自灯框体2稍突出的状态下被密封,并未确保充分的长度。即,在芯片管的外表面,多数情形时并未形成笔直地延伸的圆柱面,且未成为可与触发电极40实现良好的点接触的形状。另外,也无法充分确保其外表面与光通过电极30或背面电极3的距离。另一方面,本实施方式的管状部20在制造时的功能与现有的芯片管为相同,但与现有的芯片管不同,通过延伸而确保充分的长度。因此,可确保适于与触发电极40的点接触的外表面形状,并且可确保与光通过电极30或背面电极3充分隔开(隔开不受放电影响程度的距离)的区域。

形成于灯框体2的前表面2b上的光通过电极30由金属膜而形成,除前表面2b的外缘部外,形成于大致整个面上。更详细而言,光通过电极30包含:沿前表面2b的外缘部形成为长方形环状的环状部;及在环状部的内侧区域形成为网状的网部。光通过电极30遍及前表面2b的大致整个面而形成为网状,故而可使在内部空间中产生的光自前表面2b出射。再者,以透光性的材料形成光通过电极30本身,由此也可出射光。光通过电极30与外部框体4的接地电极电连接。

如上所述的准分子灯1中,灯框体2及管状部20的材质优选为合成石英玻璃、熔融石英玻璃等。另外,作为封入于内部空间28中的放电用气体,优选为使用例如氙等稀有气体、或稀有气体与卤气的混合气体。放电用气体的气压优选为50~100kPa。灯框体2的尺寸中,短边方向的大小为45~55mm,长边方向的大小为490~510mm,厚度方向的大小为8~10mm。另外,灯框体2的壁厚优选为大于管状部20的壁厚。例如,灯框体2的壁厚为1.5~2mm,管状部20的壁厚(管壁的厚度)为0.5~1mm。

在灯框体2的前表面2b侧,以覆盖前表面2b的外周缘部与光通过电极30的长方形环状的外周缘部的方式,配置有包含导电性材料、例如由不锈钢薄板等构成的长方形环状的框状薄板(供电部)26。框状薄板26具有与灯框体2的前表面2b的外周大致相同形状的外周,并且具有与光通过电极30的长方形环状的缘部大致相同形状的内周。再者,该框状薄板26也可相对于灯框体2而由硬焊(brazing)等接合。该框状薄板26作为对设置于准分子灯1上的光通过电极30供电的供电部而发挥功能。

灯框体2的背面2c侧的背面电极3作为准分子灯1的电极而发挥功能,且与准分子灯1分开设置。背面电极3由具有与光通过电极30的长方形环状的外周缘部大致相同的形状的铝制的长方形状的平板构成。因此,难以产生电极剥离的问题。背面电极3与灯框体2的背面2c相对,且接触配置于背面2c。在该背面电极3上设置有用以对该背面电极3供电的供电部15。供电部15通过使设置于背面电极3的外缘部的电极片朝下方折弯而形成。该供电部15经由配线而与高频电源连接。在成为与灯框体2的接触面的前表面3a上,为了使在灯框体2内部所产生的光向前表面2b侧反射而实施镜面加工。再者,也可替代背面电极3的镜面加工,通过铝等的金属蒸镀而在灯框体2的背面2c上直接形成电极层兼反射镜。该情形时,可将背面电极3作为用以对电极层供电的供电构件而使用,亦可替代背面电极3而另外设置供电构件。准分子灯1中,由光通过电极30与背面电极3夹持的区域设为施加有高频电压的放电区域。

外部框体4为容纳准分子灯1、框状薄板26、灯支撑部11A、11B、棒状支撑部12、触发电极40、及触发变压器50的长方体状的箱体。外部框体4包括:上表面侧敞开的底面长方形状的壳体6;及覆盖该壳体6的敞开的上表面的上盖(盖部)8。壳体6及上盖8包含导电性材料,可采用例如铝或不锈钢等的材质。壳体6包括:与上盖8相对的底面部6a;及自该底面部6a的四方的外缘部分别朝上方延伸的侧面部6b。上盖8包含:框状部8b,其与底面部6a相对,并且与灯框体2的外缘部相对;及开口部8a,其被该框状部8b包围,并且使光通过电极30露出。开口部8a位于框状部8b的中央位置,在与准分子灯1相对的区域上形成为大致长方形状。

上盖8的四方的外缘部、即框状部8b的四方的外缘部与壳体6的四方的侧面部6b的上端面6c大致一致。因此,在框状部8b的外缘部与侧面部6b的上端面6c上,在相互对应的位置上分别形成有贯通孔8c与螺孔6d。通过向该贯通孔8c及螺孔6d中插入螺丝29而固定壳体6与上盖8。在框状部8b的下表面侧的内缘部、即开口部8a周边上设置有阶差面8d(参照图3)。自上方观察时,该阶差面8d的四方的外缘部设定为稍大于所收纳的框状薄板26及灯框体2的四方的外缘部。由此,易收纳框状薄板26及灯框体2、且容易进行固定上盖8时的位置对准。

在外部框体4的内部,在底面部6a上设置有灯支撑部11A、11B、及棒状支撑部12。灯支撑部11A、11B设置于底面部6a的长边方向的两端侧,具有支撑准分子灯1并且进行平面方向的定位的功能。灯支撑部11A在一端2d侧支撑灯框体2(及背面电极3)。灯支撑部11B在另一侧2e侧支撑灯框体2(及背面电极3)。灯支撑部11A、11B通过在底面部6a的两端侧竖立设置沿准分子灯1的宽度方向变宽的大致长方体状的绝缘构件(例如陶瓷)而构成。这些灯支撑部11A、11B的相互相对的侧面彼此的间隔稍宽于准分子灯1的长边方向的长度。关于灯支撑部11A、11B的详细构成,将于以下描述。棒状支撑部12以特定的间隔设置于底面部6a的多个部位,具有自下方支撑准分子灯1的功能。

棒状支撑部12以与灯支撑部11A、11B在平面方向上以特定间隔隔开的方式设置。该棒状支撑部12以自底面部6a朝上方的背面电极3垂直地延伸、且使准分子灯1与底面部6a隔开的方式而支撑准分子灯1。该棒状支撑部12由陶瓷等的绝缘体而形成,其上端部优选为缩径而成为前端变细。因此,可使棒状支撑部12的前端部分的面积相对于背面电极3的背面整体的面积为极小,故而棒状支撑部12实质上可以以点接触而支撑背面电极3。本实施方式中,棒状支撑部12在灯支撑部11A与灯支撑部11B之间,沿长边方向以固定间隔而一对对地配置。

其次,参照图4、图5、及图6,对灯支撑部11A、灯框体2、及触发电极40周边的构造详细地进行说明。图5是自短边方向观察的灯支撑部及灯框体的一部分剖面图。图6是沿图5所示的VI-VI的剖面图,其为将管状部附近放大的放大剖面图。再者,为容易理解,在图4中,仅图示灯支撑部11A、灯框体2及管状部20。另外,在图5中,仅图示灯支撑部11A、准分子灯1、触发电极40、及触发变压器50。另外,在图5中,仅图示灯支撑部11A的剖面。

如图4及图5所示,灯支撑部11A形成为沿灯框体2的短边方向延伸的大致长方体状。在灯支撑部11A的一方的长边侧的缘部上,以使长边方向的两端侧的一部分分别残存的方式设置有朝长边方向延伸的长方形状的缺口。通过设置该缺口而可形成水平变宽的阶差面11a、及铅垂变宽的缺口面11b。该缺口形成于与另一方的灯支撑部11B相对的相对面11c的上侧。阶差面11a形成为与相对面11c垂直,缺口面11b形成为与相对面11c平行。缺口面11b形成为与相对面11c的相反侧的面即背面11m相对。阶差面11a可作为用以载置准分子灯1的载置面而发挥功能,缺口面11b可作为用以进行准分子灯1的长边方向的定位的挡止面而发挥功能。在阶差面11a上,配置有背面电极3的一端侧,且隔着该背面电极3而配置有灯框体2的一端2d侧。另外,缺口部分的长边方向两端侧的残存部分11d、11e的内侧面彼此的间隔设为与灯框体2的宽度方向的长度大致相同,故而可使该等残存部分11d、11e作为准分子灯1的宽度方向的定位用的挡止件而发挥功能。灯支撑部11A的上表面11f形成于较壳体6的侧面部6b的上端面6c更低的位置。另外,上表面11f形成于较支撑于灯支撑部11A的状态下的灯框体2的前表面2b更低的位置(参照图3)。由此,在将上盖8固定于壳体6上时,可防止上盖8与灯支撑部11A的上表面11f干涉。再者,另一侧2e侧的灯支撑部11B也包含与灯支撑部11A相同的构成的阶差面11a、缺口面11b、残存部分11d、11e、及上表面11f。

灯支撑部11A包含容纳灯框体2的管状部20的槽部61。槽部61为自缺口面11b朝背面11m延伸的U字状的槽。槽部61以与缺口面11b及背面11m成垂直的方式而延伸。槽部61形成朝上方开口的U字状,且形成于上表面11f开口、在下侧以描绘半圆的方式弯曲的形状。自缺口面11b及背面11m的相对方向观察时,U字状的槽部61形成隔着槽的宽度方向的中心线而左右线对称的U字。即,槽部61包含:自上表面11f垂直地朝下方延伸的一对平面状的侧部62;及以连结该一对平面的下端的方式朝下方成凸形的半圆柱面状的底部63。另外,在槽部61的宽度方向的中心线上,形成有底部63的最下端部63a。该最下端部63a描绘出以与缺口面11b及背面11m成垂直的方式而延伸的直线。

另一方面,在较灯支撑部11A的阶差面11a靠下侧的区域,形成有用以收纳触发变压器50的内部空间64。该内部空间64形成于槽部61的下方位置。内部空间64配合触发变压器50的形状而形成为大致长方体状的形状,在灯支撑部11A的相对面11c及底面开口。在槽部61的底部63形成有自该槽部61朝下方延伸且于内部空间64开口的贯通孔66。贯通孔66形成为中心配置于最下端部63a上的圆形,朝内部空间铅垂地延伸,且在内部空间64的上表面64a开口。

在灯支撑部11A的贯通孔66中配置有在该贯通孔66内沿铅垂方向延伸的触发电极40。另外,在灯支撑部11A的内部空间64中收纳有触发变压器(触发供电部、触发电极支撑部)50。触发电极40具有对准分子灯1施加成为触发的触发电压的功能。触发电极40与准分子灯1中的管状部20的外周面20a点接触,对该管状部20施加触发电压。触发变压器50具有对触发电极40供电的功能。另外,触发变压器50也具有支撑触发电极40的功能。触发变压器50包括触发电极支撑筒(触发电极支撑部)51,其以包围自上表面50a延伸的触发电极40的方式,与该触发电极40一并朝上方延伸。

具体而言,触发变压器50配置为其上表面50a与内部空间64的上表面64a相对或接触、且其侧面50b与内部空间64的侧面64b相对或接触。触发变压器50的侧面中,在自灯支撑部11A的相对面11c露出的部分连接有配线53。在贯通孔66的位置上,棒状或针状的触发电极40自触发变压器50的上表面50a朝上方延伸。触发电极40设定为例如外径为0.5~2mm左右。该触发电极40也可形成为前端变细。触发电极40穿过贯通孔66而使上端延伸至较最下端部63a靠上方为止。即,触发电极40中,上端侧的一部分突出至槽部61内。触发电极40优选配置为使在铅垂方向延伸的中心轴线CL2与贯通孔66的中心轴线一致,并且与槽部61的最下端部63a垂直相交。另外,在贯通孔66的内部,触发电极40的周围由触发电极支撑筒51支撑。使用弹簧探针作为触发电极支撑筒51,触发电极支撑筒51包括使触发电极40在上下方向能够弹性移动的弹簧部材(按压构件)52。通过该弹簧部材52而可使触发电极40在管状部20被按压从而朝下方弹性移动,与此同时,对该管状部20赋予按压力。因此,该弹簧部材52可作为对管状部20按压触发电极的按压构件发挥功能。

其次,使用图4~图6,对将准分子灯1设置于以如上方式构成的灯支撑部11A上的情形时的各构成要素的位置关系更详细地进行说明。

准分子灯1的灯框体2的背面2c的一端2d侧隔着背面电极3而配置于灯支撑部11A的阶差面11a上。另外,自灯框体2的一端2d侧延伸的管状部20配置于槽部61内。管状部20与缺口面11b成垂直,并且配置于槽部61的宽度方向的中央位置上。即,管状部20以使中心轴线CL1(与灯框体2的一端2d的周面壁24正交)与槽部61的宽度方向的中心线一致的方式而配置。自上方观察时,中心轴线CL1与槽部61的宽度方向的中心线重叠。另外,本实施方式中,中心轴线CL1与由底部63的最下端部63a描绘的直线也重叠。进而,通过管状部20的外周面20a的最下端部20c描绘的直线也与由底部63的最下端部63a描绘的直线重合。中心轴线CL1及最下端部20c的直线与槽部61的侧部62及底部63成平行。

另外,此时,灯框体2的一端2d侧的周面壁24优选为与缺口面11b隔开而非接触。由此,可抑制在该部分的沿面放电。另外,管状部20的外周面20a及前端部20b优选为与底部63及侧部62隔开而非接触。在将灯框体2固定于外部框体4时,以向灯支撑部11A按压的方式固定灯框体2。因此,在管状部20与底部63接触的情形时,会对管状部施加较强的应力,从而有可能产生龟裂而破损。尤其如本实施方式般管状部20的壁厚较灯框体2的壁厚薄的情形时,该影响变大。因此,通过使管状部20与底部63隔开而非接触而防止对管状部20施加应力。另外,在管状部20与底部63及侧部62接触的情形时,有可能经由灯支撑部11A而产生触发电极40与放电电极之间的沿面放电。因此,通过使管状部20与底部63及侧部62隔开而非接触,从而可在触发电极40及管状部20附近排除沿面放电路径。由此,可进一步提高由触发电极40与管状部20点接触所产生的电场集中的效果。其中,优选为非接触,但即便管状部20与底部63及侧部62的任一方或两方接触,也可取得本发明的效果。

另外,管状部20优选为收纳于槽部61内,且一部分不向较槽部61靠外侧露出。具体而言,管状部20的前端部20b优选为不自灯支撑部11A的背面11m朝外侧突出。即,背面11m与前端部20b优选为如图5所示隔开尺寸T1。另外,管状部20的外周面20a优选为不自灯支撑部11A的上表面11f朝上方突出。即,上表面11f与管状部20的最上端部优选为如图5所示隔开尺寸T2。例如,在管状部20自槽部61突出的情形时,当进行灯框体2的更换或其它零件的更换作业时,作业者的手指与管状部20接触而有可能破损。如上所述管状部20与槽部61的内面隔开而非接触,故而接触时的应力的影响较大。因此,通过形成将管状部20收纳于槽部61内的构成而可防止上述的破损。但是,优选为不突出,但即便管状部20自背面11m及上表面11f的任一方或两方突出,也可取得本发明的效果。

触发电极40在与管状部20的延伸方向(中心轴线CL1延伸的方向)交叉(此处为正交)的方向延伸,且在前端部41,与管状部20的外表面点接触。触发电极40在管状部20的灯支撑部11A侧的区域、即管状部20的下半部分的区域上,与外周面20a点接触。另外,优选为,触发电极40相对于外周面20a以在接触点成垂直的方式点接触。具体而言,触发电极40的中心轴线CL2与管状部20的中心轴线CL1在P1处垂直相交。由此,触发电极40与管状部20的最下端部20c在P2处垂直相交。即,触发电极40的前端部41在管状部20的最下端部20c在接触点P2处点接触。另外,此时,当对与管状部20的横剖面的外圆引一条相对于接触点P2的切线TL时,该切线TL与触发电极40的中心轴线CL2成垂直(参照图6)。进而,在接触点P2的位置处切下管状部20的纵剖面的情形时,该纵剖面的外周面20a(此处为最下端部20c描绘的直线)与触发电极40的中心轴线CL2成垂直(参照图5)。在满足此种关系的状态下点接触的情形时,触发电极40可与管状部20可靠地接触。再者,也可不严格地满足上述关系,容许在各零件的制造误差或作业设置误差的范围内产生位置偏移。

在设置灯框体2之前(图4中所示的状态),触发电极40未受到来自上方的力。此时的触发电极40的突出量(前端部41与最下端部63a之间的距离)大于设置有灯框体2时的管状部20的最下端部20c与最下端部63a之间的距离。因此,当设置有灯框体2时,触发电极40通过受管状部20的外周面20a按压而朝下方弹性移动。如此通过触发电极40的弹性移动而不对管状部20施加过度的应力。同时,可将触发电极40(在不施加存在破损的担忧的应力的范围)按压至管状部20,因此可使触发电极40与管状部20可靠地接触。

管状部20的延伸方向上的接触点P2的位置,即触发电极40的配置位置优选为靠近管状部20的延伸方向上的中央位置。即,接触点P2优选为配置于与管状部20的前端部20b隔开的位置,且与管状部20的基端(周面壁24侧的端部)隔开的位置。在靠近前端部20b的区域上,在密封时伴随若干变形而使管状部20的外表面卷曲成球状,故而有可能导致触发电极40位置偏移而无法良好地点接触。在基端附近的区域(自周面壁24起约10mm以内的范围)上,在触发电极40与放电电极之间有可能产生放电。

触发变压器50的上表面50a与灯支撑部11A的内部空间64的上表面64a可紧密附着,也可为非接触。另外,触发变压器50的侧面50b与灯支撑部11A的内部空间64的侧面64b可紧密附着,也可为非接触。优选为将贯通孔66的内周面的内径设定为大于触发电极40及触发电极支撑筒51的外径从而成彼此非接触。由此,可防止沿面放电。

其次,对本实施方式的发光装置100的作用、效果进行说明。

首先,参照图7(a),对比较例的发光装置200进行说明。在使触发电极40与放电电极(此处为背面电极3,但当使触发电极40与前表面2b侧接触时,触发电极40与光通过电极30之间相同的关系成立)3靠近的情形时,各电极间有可能产生放电。因此,需使相互隔开某程度。此处,在比较例的发光装置200中,触发电极40在灯框体2的本体部的背面2c接触。因此,有必要使放电电极3的缘部远离该接触位置。然而,尽管灯框体2中可设置放电电极的区域受到限制,但为了远离触发电极40,需使放电电极3相对较小。由此,在发光装置200中,与灯框体2整体的尺寸相比,实际的放电区域变小,从而产生无法确保有效发光范围的问题。

另一方面,如图8(a)所示,在使触发电极40与灯框体2接触的状态下,在强行确保较大的放电电极3的情形时,产生如下问题。即,当施加有触发电压时,如图8(b)所示,在触发电极40与放电电极3之间会产生放电。由于该影响而使放电无法进入至灯框体2的内部,故而无法使灯点亮。例如,在以同一电源使多根准分子灯同时点灯的情形时,若每一准分子灯的点灯存在不均,则电力会集中于先点灯的灯。由此,未点灯的灯更难点灯。因此,要求灯的良好的点灯性能。

相对于此,根据本实施方式的发光装置100,准分子灯1包括灯框体2,其在前表面2b上形成有光通过电极30,且在背面2c上配置有背面电极3。另外,准分子灯1包括自该灯框体2朝外侧突出、延伸的管状部20。由于管状部20自灯框体2朝外侧延伸,故而可确保与灯框体2的放电电极(光通过电极30、背面电极3)有充分的距离。触发电极40与此种管状部20的外表面点接触。即,无论设置于灯框体2上的放电电极3、30的形状或大小,均可使触发电极40的接触点P2与放电电极3、30充分地隔开。由此,如图7(b)所示,通过防止触发电极40与放电电极3、30之间的放电而使灯可良好的点灯,另一方面,可在灯框体2上充分的范围内设置放电电极3、30。因此,相对于灯框体2的尺寸,可最大限度地确保较大的有效发光范围。进而,通过设为点接触而可使电场集中,且使灯可更良好的点亮。因此,即便为气压较高的准分子灯,也可确保充分的电场强度,可取得灯的良好的点灯性能。根据以上所述,可实现灯的良好的点灯,与此同时,可确保充分大的有效发光范围。

发光装置100中,触发电极40在与管状部20的延伸方向交叉(此处为正交)的方向延伸,在前端部41与管状部20的外周面20a点接触。根据此种构成,在触发电极40的前端部41,可确实地与管状部20的外表面点接触。

发光装置100中,管状部20的壁厚小于灯框体2的壁厚。通过使管状部20的壁厚较小而可提高放电开始能力。另一方面,通过使灯框体2的壁厚较大而可在放电部分确保较高的强度(例如,相对于压力的物理强度、或耐放电性)。再者,管状部20的壁厚至少在与触发电极40的接触点P2处设定为小于灯框体2的壁厚。即,即便为了确保强度而将管状部20的根部附近设为与灯框体2的壁厚相同,但在接触点P2处,也设为小于灯框体2的壁厚。

发光装置100中,触发电极40在灯支撑部11A侧与管状部20的外周面20a点接触。根据此种构成,可将准分子灯1设置于灯支撑部11A上,与此同时,可使自槽部61的底部63突出的触发电极40与管状部20接触。由此,可使触发电极40与管状部20确实地接触。

发光装置100中,灯框体2在一端2d侧支撑于灯支撑部11A。另外,管状部20形成于灯框体2的一端2d侧。进而,灯支撑部11A包含容纳有管状部20的槽部61。根据此种构成,灯框体2由灯支撑部11A支撑,与此同时,管状部20收纳于槽部61中而受到保护。如此,通过以槽部61保护管状部20而可稳定地维持触发电极40与管状部20点接触的状态。

发光装置100中,灯支撑部11A在槽部61的底部63具有贯通孔66。另外,触发电极40自贯通孔66朝上方突出。根据此种构成,触发电极40在自贯通孔66突出的部分确实地与管状部20点接触,在被贯通孔66包围的部分由该贯通孔66保护。由此,可稳定地维持触发电极40与管状部20点接触的状态。

发光装置100中,触发电极40由触发变压器50及触发电极支撑筒51支撑。另外,触发变压器50包含相对于管状部20而按压触发电极40的弹簧部材52。由此,由弹簧部材52按压的触发电极40与管状部20可靠地点接触。

发光装置100中,准分子灯1通过由上盖8的框状部8b与灯支撑部11A、11B夹持而保持。根据此种构造,通过关闭上盖8而可以自上方按压的方式固定准分子灯1。由此,可使管状部20与触发电极40确实地点接触。

[实施例]

具有与上述实施方式相同构成的发光装置中,使用如下结构作为准分子灯。即,使用合成石英玻璃作为灯框体2及管状部20的材质,且采用以如下方式设定:将灯框体的尺寸设定为50mm×500mm×9mm,并且将壁厚设定为1.8mm,将管状部20的长度设定为20mm,并且将壁厚设定为0.75mm(外径6mm,内径4.5mm)。另外,在内部空间28中作为放电用气体填充有66.7kPa的氙。另外,使用外径为0.7mm的电极作为触发电极40,使其在前端部41处与管状部20点接触。此种发光装置中,如图9所示,自点灯电源对背面电极3及光通过电极30施加3kVp-p左右的电压,且自触发变压器50对触发电极40以20Hz的重复频率施加2秒钟的20kVp-p左右的电压。由此,确认准分子灯1点灯。

本发明并非限定于上述实施方式。

例如,外部框体并不限定于上述实施方式的构成。例如,也可采用图10所示的发光装置400的外部框体。发光装置400的外部框体4除上述上盖8的构成外,包括具有侧壁部8e的罩部408,该侧壁部8e自框状部8b的四方的外缘部朝底面部6a侧而向下方延伸。另外,贯通孔8c形成于侧壁部8e而非框状部8b的外缘部。另外,壳体6侧的螺孔6d也形成于侧面部6b的上缘部而非侧面部6b的上端面6c。贯通孔8c及螺孔6d形成于相互对应的位置上,且形成于水平方向。在将罩部408固定于壳体6上时,以侧面部6b自外侧覆盖壳体6的上缘部的方式而盖住罩部408。其次,一面以罩部408与灯支撑部11A、11B夹持准分子灯1,一面自水平方向紧固螺丝29。通过自成为出射面的框状部8b排除螺固的构成而可消除由来自螺固部的碎屑的脱落所导致的污染。例如,于无尘室内使用时,采用该构造为宜。

另外,本实施方式中,准分子灯1设为长方形状,但形状并无特别限定。伴随准分子灯1的形状变更而使外部框体或支撑构造等的构造变更。例如,也可将准分子灯设为圆板状。

另外,管状部20的形状也可适当变更而并不限于以上所述形状,例如,外周面20a也可设为多边形柱面而非圆柱面。另外,管状部20的设置位置也可适当变更而并不限于以上所述位置,例如也可使灯框体2的短边方向的位置适当移动。另外,管状部20的壁厚也可适当变更而并不限于以上所述厚度,例如视情形亦可使壁厚变化。另外,管状部20的延伸的方向亦并不限于以上所述方向,例如亦可使其稍倾斜。

另外,上述实施方式中,特别优选为触发电极在管状部的最下端部与该管状部垂直地点接触。然而,在可实现灯的点灯的限度内,只要为触发电极与管状部点接触的构造,则其接触角度、接触位置或接触态样可进行种种变形而无特别限定。例如,触发电极以与管状部的延伸方向(中心轴线CL1)正交的方式而延伸,但也可成倾斜地延伸。另外,触发电极与接触点处的管状部的切线垂直地接触,但也可与切线以倾斜的方式接触。触发电极自槽部的底部朝上方延伸,但也可自侧面等朝横方向延伸。另外,触发电极为自管状部的上侧笔直地延伸的棒状或针状的电极,但亦可使用弯曲的电极、折弯的电极。

另外,灯支撑部的槽部的形状亦不限定于上述实施方式中,也可设为任意形状的槽部。或者,也可不存在槽部(例如,将灯支撑部的上表面本身设定为低于管状部,使触发电极自该上表面突出)。另外,也可形成为于灯支撑部的内部设置有触发变压器及触发电极的构成,但也可将触发变压器及触发电极配置于与灯支撑部独立的位置。

产业上的可利用性

本发明可利用于使用有准分子灯的发光装置。

发光装置专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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