专利摘要
本实用新型属于带电粒子束检测技术领域，涉及一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，包括：薄膜电极、接地紧固环、信号收集电极、三同轴接头和接地电极，薄膜电极通过接地紧固环固定在信号收集电极上，且与信号收集电极紧密贴合，薄膜电极的束流入射面与束流出射面之间绝缘，信号收集电极的信号输出端连接三同轴接头的信号端，接地紧固环通过接地电极连接三同轴接头的接地端。其可以直接在大气环境中使用，无需真空和偏压设备，成本低，体积小，且束流不易泄露，检测结果更加准确。
权利要求
1.一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，包括：薄膜电极、接地紧固环、信号收集电极、三同轴接头和接地电极，
所述薄膜电极通过所述接地紧固环固定在所述信号收集电极上，且与所述信号收集电极紧密贴合，所述薄膜电极的束流入射面与束流出射面之间绝缘，所述信号收集电极的信号输出端连接所述三同轴接头的信号端，所述接地紧固环通过接地电极连接所述三同轴接头的接地端。
2.如权利要求1所述的在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，所述薄膜电极的束流入射面上镀有导电材料，所述束流出射面为绝缘材料。
3.如权利要求2所述的在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，所述束流出射面上同样镀有导电材料，但所述束流出射面上的导电材料不与所述束流入射面上的导电材料导通。
4.如权利要求1所述的在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，所述接地电极与所述信号收集电极同轴设置，所述接地电极设置在所述信号收集电极的外侧，且与所述信号收集电极间隔。
5.如权利要求4所述的在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，所述接地电极与所述信号收集电极之间设有保护电极，所述保护电极与所述信号收集电极同轴设置，且其输出端与所述三同轴接头的保护地端连接。
6.如权利要求5所述的在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，所述保护电极与信号收集电极的电势相等。
7.如权利要求6所述的在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，所述接地电极、信号收集电极与保护电极之间均设置有同轴绝缘圆环，以保证三个电极之间相互绝缘。
8.如权利要求1所述的在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，所述信号收集电极与所述薄膜电极接触的一端的倒角为圆角。
9.如权利要求8所述的在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，所述接地紧固环与薄膜电极接触的一侧设置为与所述圆角弧度相匹配的圆弧形，以保证所述薄膜电极与所述信号收集电极贴合。
一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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