专利摘要
本实用新型公开了一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，包括进气管路、第一换热器、吸气反应器、第二换热器、脱氢罐和出气管路，所述进气管路与所述第一换热器的冷媒入口相连，所述第一换热器的冷媒出口与所述吸气反应器相连，所述吸气反应器内设有吸气剂，所述吸气反应器处设有用于加热吸气剂的加热元件，所述吸气反应器的出口与所述第一换热器的热媒入口相连，所述第一换热器的热媒出口与所述第二换热器的热媒入口相连，所述第二换热器的热媒出口与所述脱氢罐相连，所述脱氢罐与所述出气管路相连。本实用新型中加高效吸气剂脱氢罐，可脱除吸气反应器后端产品氩气和氦气中的杂质氢至ppb级，保证产品气出口氢含量指标不波动。
权利要求
1.一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，其特征在于：包括进气管路(1)、第一换热器(5)、吸气反应器(6)、第二换热器(8)、脱氢罐(9)和出气管路(2)，所述进气管路(1)与所述第一换热器(5)的冷媒入口相连，所述第一换热器(5)的冷媒出口与所述吸气反应器(6)相连，所述吸气反应器(6)内设有吸气剂，所述吸气反应器(6)处设有用于加热吸气剂的加热元件(7)，所述吸气反应器(6)的出口与所述第一换热器(5)的热媒入口相连，所述第一换热器(5)的热媒出口与所述第二换热器(8)的热媒入口相连，所述第二换热器(8)的热媒出口与所述脱氢罐(9)相连，所述脱氢罐(9)与所述出气管路(2)相连。
2.根据权利要求1所述的一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，其特征在于：所述脱氢罐(9)内设有能吸附氢的吸气剂。
3.根据权利要求2所述的一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，其特征在于：所述脱氢罐(9)内设有锆钒铁吸气剂，所述脱氢罐(9)的工作温度为常温。
4.根据权利要求1所述的一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，其特征在于：所述吸气反应器(6)内设有锆钒铁吸气剂，所述加热元件(7)能使所述锆钒铁吸气剂的温度维持在400～450℃。
5.根据权利要求1所述的一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，其特征在于：还包括冷却水管路(4)，所述冷却水管路(4)与所述第二换热器(8)的冷媒流道相连，所述出气管路(2)上设有废气放空管路(3)。
一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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