专利摘要
本实用新型涉及涉及一种用于氢气、氩气和氦气纯化的装置，属于气体纯化工艺技术领域。主要技术方案为：包括原料气入口、再生氮气入口、冷却水回水口、冷却水上水口，所述的原料气入口位于再生氮气入口、冷却水回水口、冷却水上水口的上方，所述的原料气入口通过阀门连接脱氧吸附器A、脱氧吸附器B，所述的脱氧吸附器A、脱氧吸附器B出口分别连接再生加热器A、再生加热器B，所述的再生氢气入口连接再生加热器A、再生加热器B。本实用新型采用吸附和吸气联用的方式脱除原料气中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢、甲烷和氮气等杂质。纯化效果好，投资运营成本低。
权利要求
1.一种用于氢气、氩气和氦气纯化的装置，其特征在于，包括原料气入口(1)、外接再生气入口(2)、冷却水回水口(3)、冷却水上水口(4)，所述的原料气入口(1)通过阀门连接脱氧吸附器A(5)、脱氧吸附器B(6)，所述的脱氧吸附器A(5)、脱氧吸附器B(6)出口分别连接再生加热器A(7)、再生加热器B(8)，所述的外接再生气入口(2)连接再生加热器A(7)、再生加热器B(8)，所述的脱氧吸附器A(5)、脱氧吸附器B(6)连接再生冷却器A(16)、再生冷却器B(17)，吸气换热器(9)通过吸气加热器(10)连接吸气器(11)，所述的吸气换热器(9)连接吸气冷却器(12)，氩气入口(13)通过管道连接外接再生气入口(2)管道，氩气入口(13)连接吸气换热器(9)，所述的吸气冷却器(12)连接产品气出口(14)和分析采样出口(15)。
2.如权利要求1所述的用于氢气、氩气和氦气纯化的装置，其特征在于，所述脱氧吸附器A(5)包括以下部件：一级过滤器A(5-1)，加料筒(5-2)，定位器A(5-3)，气流分配器(5-4)，气流分配器支撑柱(5-5)，上封头A(5-6)，直筒段(5-7)，二级过滤器A(5-8)，二级过滤器支撑部A(5-9)，三级过滤器A(5-10)，三级过滤器固定板A(5-11)，下封头A(5-12)，进气管A(5-13)，出气管A(5-14)，底座A(5-15)，热偶套管A(5-16)和热偶套管B(5-17)；其中，上封头A(5-6)、直筒段(5-7)和下封头A(5-12)按照由上至下的顺序连接构成密封中空的容器主体并固定在底座A(5-15)上；上封头部分：上封头A(5-6)顶部中心位置开口，在上封头A(5-6)开口外端设有内径与开口尺寸相同的空心圆柱体状、一端去底的加料筒(5-2)，加料筒(5-2)去底端连接在上封头A(5-6)顶端开口处，加料筒(5-2)的内设置圆柱状的一级过滤器A(5-1)，一级过滤器A(5-1)侧壁设有均匀开孔，加料筒(5-2)的顶端的外侧开孔连接有进气管A(5-13)，加料筒(5-2)与一级过滤器A(5-1)之间设有定位器A(5-3)，气流分配器支撑柱(5-5)一端连接在上封头A(5-6)内壁，另一端连接中心中空的气流分配器(5-4)；直筒段部分：直筒段(5-7)靠近上封头A(5-6)位置设置一个热偶套管A(5-16)，中部靠下位置设置一个热偶套管B(5-17)，热偶套管B(5-17)的下方设置二级过滤器A(5-8)，二级过滤器A(5-8)为板状结构，二级过滤器A(5-8)下方与二级过滤器支撑部A(5-9)相接触，直筒段(5-7)底部设有三级过滤器固定板A(5-11)，三级过滤器固定板A(5-11)开有圆形的开口，开口处固定与其直径相同的中空圆柱状三级过滤器A(5-10)，三级过滤器A(5-10)的另一个底面靠近二级过滤器支撑部A(5-9)，三级过滤器A(5-10)的底面开孔与三级过滤器固定板A(5-11)的圆形的开口连接；下封头部分：下封头A(5-12)的底部开口连有与其直径相同的出气管A(5-14)。
3.如权利要求1所述的用于氢气、氩气和氦气纯化的装置，其特征在于，所述再生加热器A(7)为类圆柱体，包括：加热器本体(71)，加热器筒体(72)，热偶套管E(73)，进气管B(74)、出气管B(75)和下封头B(76)；加热器本体(71)上部为上部封头(71-1)，下部为换热体A(71-2)，换热体A(71-2)直径小于加热器筒体(72)内径，上部封头(71-1)的直径与加热器筒体(72)外径相同，换热体(1-2)伸入到加热器筒体(72)内部，上部封头(71-1)与加热器筒体(72)顶端接触，加热器筒体(72)下部靠近下封头B(76)的位置设有热偶套管E(73)，加热器筒体(72)下端连有下封头B(76)，下封头B(76)中心位置连接有出气管B(75)。
4.如权利要求3所述的用于氢气、氩气和氦气纯化的装置，其特征在于，所述加热器本体(71)为一体式结构，并与加热器筒体(72)和下封头B(76)形成密封柱状容器。
5.如权利要求3所述的用于氢气、氩气和氦气纯化的装置，其特征在于，所述加热器本体(71)还包括：流体通过孔(71-3)，定位器B(71-4)，热源内槽(71-5)和热偶内槽(71-6)；流体通过孔(71-3)设在靠近上部封头(71-1)位置，流体通过孔(71-3)连接的通道在换热体A(71-2)内部与进气管B(74)连通，定位器B(71-4)设置在换热体A(71-2)靠近底端外侧位置，加热器本体(71)内竖直方向设有热源内槽(71-5)，热源内槽(71-5)与进气管B(74)之间竖直设有热偶内槽(71-6)，热源内槽(71-5)内装有热源，热偶内槽(71-6)内装有温度测量器。
6.如权利要求3所述的用于氢气、氩气和氦气纯化的装置，其特征在于，所述加热器本体(71)上有定位器B(71-4)，设置在换热体A(71-2)靠近底端外侧位置。
7.如权利要求1所述的用于氢气、氩气和氦气纯化的装置，其特征在于，所述吸气器(11)包括：进气管C(11-1)、上封头B(11-2)、一级过滤器B(11-3)、加料口(11-4)、热偶套管C(11-5)、筒体(11-6)、热偶套管D(11-7)、二级过滤器B(11-8)、二级过滤器支撑部B(11-9)、三级过滤器B(11-10)、三级过滤器固定板B(11-11)、下封头C(11-12)、底座B(11-13)、出气管C(11-14)、加热器套管(11-15)、测温器套管(11-16)、扰流板(11-17)、气体流通孔(11-18)、换热体B(11-19)和定位器C(11-20)；其中上封头B(11-2)、筒体(11-6)和下封头C(11-12)顺次连接构成类圆柱体状主体，进气管C(11-1)设置在主体上部，加热器套管(11-15)纵向设置于主体内部，加热器套管(11-15)内装管式加热器，相邻设置测温器套管(11-16)，加热器套管(11-15)下方设置一级过滤器B(11-3)，一级过滤器B(11-3)下面设有加料口(11-4)和热偶套管C(11-5)，热偶套管C(11-5)下方设有热偶套管D(11-7)，热偶套管D(11-7)下方设有二级过滤器B(11-8)，二级过滤器B(11-8)下方与二级过滤器支撑部B(11-9)相接触，二级过滤器支撑部B(11-9)下方设有三级过滤器B(11-10)，三级过滤器B(11-10)固定在三级过滤器固定板B(11-11)上，下封头C(11-12)中心位置设有出气管C(11-14)，主体下部通过底座B(11-13)固定。
8.如权利要求1所述的用于氢气、氩气和氦气纯化的装置，其特征在于，所述吸气器(11)为再生加热器A(7)与脱氧吸附器A(5)的结合。
说明书
技术领域
本实用新型属于气体纯化工艺技术领域，具体涉及一种用于氢气、氩气和氦气纯化的装置。
背景技术
气体中的杂质甲烷是一种难以去除的杂质，用物理和化学吸附的方法极难去除。如果用深冷精馏的方法，投资和经济性不高，杂质氮气难以常温下被化学吸附，物理吸附时，被脱除的深度又无法满足需求(<100ppb～0.1ppb)。
实用新型内容
为弥补现有技术的不足，本实用新型提供一种用于氢气、氩气和氦气纯化的装置。采用吸附和吸气联用的方式脱除原料气中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢、甲烷和氮气等杂质。
本实用新型的技术方案如下：一种用于氢气、氩气和氦气纯化的装置，包括原料气入口、外接再生气入口、冷却水回水口、冷却水上水口，所述的原料气入口位于外接再生气入口、冷却水回水口、冷却水上水口的上方，所述的原料气入口通过阀门连接脱氧吸附器A、脱氧吸附器B，所述的脱氧吸附器A、脱氧吸附器B出口分别连接再生加热器A、再生加热器B，所述的脱氧吸附器A、脱氧吸附器B连接再生冷却器A、再生冷却器B，所述的脱氧吸附器A或脱氧吸附器B出来的半成品气体连接吸气换热器，所述的吸气换热器通过吸气加热器连接吸气器，所述的吸气换热器连接吸气冷却器，氩气入口通过管道连接外接再生气入口管道，氩气入口连接吸气换热器，所述的吸气冷却器连接产品气出口和分析采样出口。
所述的脱氧吸附器A包括以下部件：一级过滤器A，加料筒，定位器A，气流分配器，气流分配器支撑柱，上封头A，直筒段，二级过滤器A，二级过滤器支撑部A，三级过滤器A，三级过滤器固定板A，下封头A，进气管A，出气管A，底座A，热偶套管A和热偶套管B；其中，上封头A、直筒段和下封头A 按照由上至下的顺序连接构成密封中空的容器主体并固定在底座A上；上封头部分：上封头A顶部中心位置开口，在上封头A开口外端设有内径与开口尺寸相同的空心圆柱体状、一端去底的加料筒，加料筒去底端连接在上封头A顶端开口处，加料筒的内设置圆柱状的一级过滤器A，一级过滤器A侧壁设有均匀开孔，加料筒的顶端的外侧开孔连接有进气管A，加料筒与一级过滤器A之间设有定位器A，气流分配器支撑柱一端连接在上封头A内壁，另一端连接中心中空的气流分配器；直筒段部分：直筒段靠近上封头A位置设置一个热偶套管A，中部靠下位置设置一个热偶套管B，热偶套管B的下方设置二级过滤器A，二级过滤器A为板状结构，二级过滤器A下方与二级过滤器支撑部A相接触，直筒段底部设有三级过滤器固定板A，三级过滤器固定板A开有圆形的开口，开口处固定与其直径相同的中空，一端去底的圆柱状三级过滤器A，三级过滤器A 的另一个底面靠近二级过滤器支撑部A，三级过滤器A的底面开孔与三级过滤器固定板A的圆形的开口连接；下封头部分：下封头A的底部开口连有与其直径相同的出气管A。
所述再生加热器A为类圆柱体，包括：加热器本体，加热器筒体，热偶套管E，进气管B、出气管B和下封头B；加热器本体上部为上部封头，下部为换热体A，换热体A直径小于加热器筒体内径，上部封头的直径与加热器筒体外径相同，换热体伸入到加热器筒体内部，上部封头与加热器筒体顶端接触，加热器筒体下部靠近下封头B的位置设有热偶套管E，加热器筒体下端连有下封头B，下封头B中心位置连接有出气管B。
所述加热器本体为一体式结构，并与加热器筒体和下封头B形成密封柱状容器。
所述加热器本体还包括：流体通过孔，定位器B，热源内槽和热偶内槽；流体通过孔设在靠近上部封头位置，流体通过孔连接的通道在换热体A内部与进气管B连通，定位器B设置在换热体A靠近底端外侧位置，加热器本体内竖直方向设有热源内槽，热源内槽与进气管B之间竖直设有热偶内槽，热源内槽内装有热源，热偶内槽内装有温度测量器。
所述加热器本体上有定位器B，设置在换热体A靠近底端外侧位置。
所述吸气器包括：进气管C、上封头B、一级过滤器B、加料口、热偶套管 C、筒体、热偶套管D、二级过滤器B、二级过滤器支撑部B、三级过滤器B、三级过滤器固定板B、下封头C、底座B、出气管C、加热器套管、测温器套管、扰流板、气体流通孔、换热体B和定位器C；其中上封头B、筒体和下封头C 顺次连接构成类圆柱体状主体，进气管C设置在主体上部，加热器套管纵向设置于主体内部，加热器套管内装管式加热器，相邻设置测温器套管，加热器套管下方设置一级过滤器B，一级过滤器B下面设有加料口和热偶套管C，热偶套管 C下方设有热偶套管D，热偶套管D下方设有二级过滤器B，二级过滤器B下方与二级过滤器支撑部B相接触，二级过滤器支撑部B下方设有三级过滤器B，三级过滤器B固定在三级过滤器固定板B上，下封头C中心位置设有出气管C，主体下部通过底座B固定。如果设备规模较大，吸气器也可以是再生加热器A 与脱氧吸附器A的结合。
本实用新型的应用工艺是一种可连续产气的气体纯化工艺，两个脱氧吸附器内装吸附剂，吸附剂有吸附容量，需要定期激活再生，操作时，一台脱氧吸附器纯化气体，另一台再生或待用。因为每一组中的纯化用填料有吸附容量，饱和后需要进行再生处理，如果吸附组为两组以上，可以对达到饱和的吸附柱进行再生，其他的可以继续纯化气体，以实现连续产气的目的和作用。
本实用新型的纯化系统可根据工况深度脱除原料中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢气和甲烷等杂质或其中某种或多种杂质，且设置入口过滤器、出口过滤器、气流分配器，可以起到过滤固体杂质的效果。
本实用新型的有益效果如下：
(1)本实用新型工艺在吸气工序前端加上可以再生重复使用的吸附工序用于原料气中的氧、水、一氧化碳、二氧化碳和氢(纯化氢气时不脱氢)，后端吸气工序只吸附原料其中的杂质甲烷和氮气，可将吸气剂的使用寿命延长3倍以上，降低运行和填料的更换成本。
(2)本实用新型工艺前端的吸附工序可在常温下吸附原料气中的氧、水、一氧化碳、二氧化碳和氢(纯化氢气时不脱氢)，不需要加热，降低运行成本。
本实用新型的吸气工序采用了换热器，从吸气器出来的高温气体在换热器与冷的进气进行热交换，热量回收率>80％，给热气预冷却，冷气预加热。可减小吸气加热器的装机功率和，降低吸气冷却器的冷却面积70％以上，有效地降低了投资成本和运营成本。
本工艺可将原料气中的气体杂质降低至体积含量的0.1ppb(百亿分之一) 以下。另外，根据气体流动特性，为提高气体的纯化效果，本实用新型的使用方法采用从脱氧吸附器上部进入原料气，在脱氧吸附器内部从上向下通过纯化填料的床层，脱氧吸附器下部产出产品气；以提高纯化效果。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为脱氧吸附器A的结构图。
图3为气流分配器的俯视图。
图4为三级过滤器及固定板俯视图。
图5为再生加热器A的结构图。
图6为加热器本体的结构图。
图7为加热器本体A-A方向剖面图。
图8为加热器本体B-B方向剖面图。
图9为吸气器的结构图1。
图10为换热体的水平剖视图。
图11为三级过滤器A的水平剖视图1。
图12为吸气器的结构图2。
图13为管式加热器部分的水平剖视图。
图14为三级过滤器B的水平剖视图2。
图15为图1的Ⅰ部放大图。
图16为图1的Ⅱ部放大图。
其中：1、原料气入口，2、外接再生气入口，3、冷却水回水口，4、冷却水上水口，5、脱氧吸附器A，6、脱氧吸附器B，7、再生加热器A，8、再生加热器B，9、吸气换热器，10、吸气加热器，11、吸气器，12、吸气冷却器，13、氩气入口，14、产品气出口，15、分析采样出口，16、再生冷却器A，17、再生冷却器B，18、脱氧吸附器出口阀，19、低位排液阀，20、废气排放口，21、原料气入口压力测量仪表，22、原料气流量测量仪表，23、脱氧吸附器入口阀，24、放空吹扫截止阀，25、再生气流量调节阀，26、再生气入口阀，27、产品过滤器， 28、产品气出口阀，29、原料气入口过滤器，5-1、一级过滤器A，5-2、加料筒， 5-3、定位器A，5-4、气流分配器，5-5、气流分配器支撑柱，5-6、上封头A，5-7、直筒段，5-8、二级过滤器A，5-9、二级过滤器支撑部A，5-10、三级过滤器A，5-11、三级过滤器固定板A，5-12、下封头A，5-13、进气管A，5-14、出气管A，5-15、底座A，5-16、热偶套管A，5-17、热偶套管B，71、加热器本体，71-1、上部封头，71-2、换热体A，71-3、流体通过孔，71-4、定位器， 71-5、热源内槽，71-6、热偶内槽，72、加热器筒体，73、热偶套管E，74、进气管B，75、出气管B，76、下封头B，11-1、进气管C，11-2、上封头B，11-3、一级过滤器B，11-4、加料口，11-5、热偶套管C，11-6、筒体，11-7、热偶套管 D，11-8、二级过滤器B，11-9、二级过滤器支撑部B，11-10、三级过滤器B， 11-11、三级过滤器固定板B，11-12、下封头C，11-13、底座B，11-14、出气管 C，11-15、加热器套管，11-16、测温器套管，11-17、扰流板，11-18、气体流通孔，11-19、换热体B，11-20、定位器C。
具体实施方式
下面结合具体实施例及附图对本实用新型做进一步的说明。
如图1-16所示，一种用于氢气、氩气和氦气纯化的装置，包括原料气入口 1、外接再生气入口2、冷却水回水口3、冷却水上水口4，所述的原料气入口1 位于外接再生气入口2、冷却水回水口3、冷却水上水口4的上方，所述的原料气入口1通过阀门连接脱氧吸附器A5、脱氧吸附器B6，所述的脱氧吸附器A5、脱氧吸附器B6出口分别连接再生加热器A7、再生加热器B8，所述的外接再生气入口2连接再生加热器A7、再生加热器B8，所述的再生加热器A7、再生加热器B8连接再生冷却器A16、再生冷却器B17，所述的脱氧吸附器A5或脱氧吸附器B6出来的半成品气体进入吸气换热器9，所述的吸气换热器9通过吸气加热器10连接吸气器11，所述的吸气换热器9连接吸气冷却器12，氩气入口 13通过管道连接外接再生气入口2管道，氩气入口13连接吸气换热器9，所述的吸气冷却器12连接产品气出口14和分析采样出口15。
所述的脱氧吸附器A5包括以下部件：一级过滤器A5-1，加料筒5-2，定位器A5-3，气流分配器5-4，气流分配器支撑柱5-5，上封头A5-6，直筒段5-7，二级过滤器A5-8，二级过滤器支撑部A5-9，三级过滤器A5-10，三级过滤器固定板A5-11，下封头A5-12，进气管A5-13，出气管A5-14，底座A5-15，热偶套管A5-16和热偶套管B5-17；其中，上封头A5-6、直筒段5-7和下封头A5-12 按照由上至下的顺序连接构成密封中空的容器主体并固定在底座A5-15上；上封头部分：上封头A5-6顶部中心位置开口，在上封头A5-6开口外端设有内径与开口尺寸相同的空心圆柱体状、一端去底的加料筒5-2，加料筒5-2去底端连接在上封头A5-6顶端开口处，加料筒5-2的内设置圆柱状的一级过滤器A5-1，一级过滤器A5-1侧壁设有均匀开孔，加料筒5-2的顶端的外侧开孔连接有与其内径相等进气管A5-13，加料筒5-2与一级过滤器A5-1之间设有定位器A5-3，气流分配器支撑柱5-5一端连接在上封头A5-6内壁，另一端连接中心中空的气流分配器5-4；直筒段部分：直筒段5-7靠近上封头A5-6位置设置一个热偶套管 A5-16，中部靠下位置设置一个热偶套管B5-17，热偶套管B5-17的下方设置二级过滤器A5-8，二级过滤器A5-8为板状结构，二级过滤器A5-8下方与二级过滤器支撑部A5-9相接触，直筒段5-7底部设有三级过滤器固定板A5-11，三级过滤器固定板A5-11开有圆形的开口，开口处固定与其直径相同的中空，一端去底的圆柱状三级过滤器A5-10，三级过滤器A5-10的另一个底面靠近二级过滤器支撑部A5-9，三级过滤器A5-10的底面开孔与三级过滤器固定板A5-11的圆形的开口连接；侧壁有致密的用于过滤极小固体杂质的过滤孔隙；下封头部分：下封头A5-12的底部开口连有与其直径相同的出气管A5-14。
所述再生加热器A7为类圆柱体，包括：加热器本体71，加热器筒体72，热偶套管E73，进气管B74、出气管B75和下封头B76；加热器本体71上部为上部封头71-1，下部为换热体A71-2，换热体A71-2直径小于加热器筒体72内径，上部封头71-1的直径与加热器筒体72外径相同，换热体1-2伸入到加热器筒体72内部，上部封头71-1与加热器筒体72顶端接触，加热器筒体72下部靠近下封头B76的位置设有热偶套管E73，加热器筒体72下端连有下封头B76，下封头B76中心位置连接有出气管B75。
所述加热器本体71为一体式结构，并与加热器筒体72和下封头B76形成密封柱状容器。
所述加热器本体71还包括：流体通过孔71-3，定位器B71-4，热源内槽71-5 和热偶内槽71-6；流体通过孔71-3设在靠近上部封头71-1位置，流体通过孔71-3 连接的通道在换热体A71-2内部与进气管B74连通，定位器B71-4设置在换热体A71-2靠近底端外侧位置，加热器本体71内竖直方向设有热源内槽71-5，热源内槽71-5与进气管B74之间竖直设有热偶内槽71-6，热源内槽71-5内装有热源，热偶内槽71-6内装有温度测量器。
所述加热器本体71上有定位器B71-4，设置在换热体A71-2靠近底端外侧位置。
所述吸气器11包括：进气管C11-1、上封头B11-2、一级过滤器B11-3、加料口11-4、热偶套管C11-5、筒体11-6、热偶套管D11-7、二级过滤器B11-8、二级过滤器支撑部B11-9、三级过滤器B11-10、三级过滤器固定板B11-11、下封头C11-12、底座B11-13、出气管C11-14、加热器套管11-15、测温器套管11-16、扰流板11-17、气体流通孔11-18、换热体B11-19和定位器C11-20；其中上封头 B11-2、筒体11-6和下封头C11-12顺次连接构成类圆柱体状主体，进气管C11-1 设置在主体上部，加热器套管11-15纵向设置于主体内部，加热器套管11-15内装管式加热器，相邻设置测温器套管11-16，加热器套管11-15下方设置一级过滤器B11-3，一级过滤器B11-3下面设有加料口11-4和热偶套管C11-5，热偶套管C11-5下方设有热偶套管D11-7，热偶套管D11-7下方设有二级过滤器B11-8，二级过滤器B11-8下方与二级过滤器支撑部B11-9相接触，二级过滤器支撑部 B11-9下方设有三级过滤器B11-10，三级过滤器B11-10固定在三级过滤器固定板B11-11上，下封头C11-12中心位置设有出气管C11-14，主体下部通过底座 B11-13固定。如果设备规模较大，吸气器11也可以是再生加热器A7与脱氧吸附器A5的结合。
本实用新型的纯化过程如下：
(一)吸附工序
原料气从原料气入口1进入工艺入口阀，进入工艺，原料气的压力和流量通过原料气入口压力测量仪表21和原料气流量测量仪表22测量压力和流量，以保证原料气的工况条件在设计要求的范围内，通过原料气入口过滤器29过滤掉原料气来源可能带有的固体杂质。
进入吸附工序，以脱氧吸附器A5生产，脱氧吸附器B6再生为例，原料气经脱氧吸附器入口阀23进脱氧吸附器A5，原料气在其内部的填料的作用下，脱除原料气中的氧、水、一氧化碳和二氧化碳等杂质，达到纯化的目的。之后从产品气出脱氧吸附器出口阀流出脱氧吸附器A5，进入吸气工序。
需要再生激活的脱氧吸附器B6中的残留气体从放空吹扫截止阀24排出，并用外接再生气流量调节阀25调节排出流速，以防止对容器中的填料床层冲击过大，产生物理性的损耗。之后从纯化后的产品气中提取一部分5-10vt％，作为再生吹扫气与外接再生气混合后经再生气入口阀26通过再生加热器B8加热，加热温度在260～400℃。加热后的再生气进入脱氧吸附器B6，并对其中的填料床层进行吹扫。
再生废气在再生冷却器B17冷却后通过再生废气出口阀排出，如果再生时产生水或者废液，则从低位排液阀19排除工艺。
加热再生完成后，再生加热器和容器外加热器停止加热，进行吹冷，冷却后，对脱氧吸附器B6进行充压至工作压力，完成上述步骤后，关闭阀门，保压待用。
(二)吸气工序
从吸附工序出来的原料气进入吸气换热器9与从吸气器11出来的高温气体进行热交换，并预热，之后经过吸气加热器10加热至纯化温度后200～550℃，进入吸气器11，在其装填的吸气剂的作用下(吸气剂型号为XJ
上述实施例只是用于对本实用新型的举例和说明，而非意在将本实用新型限制于所描述的实施例范围内。此外本领域技术人员可以理解的是，本实用新型不局限于上述实施例，根据本实用新型的教导还可以做出更多种的变型和修改，这些变型和修改均落在本实用新型所要求保护的范围内。
一种用于氢气、氩气和氦气纯化的装置专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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