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一种节能环保型连续式扩散炉

一种节能环保型连续式扩散炉

IPC分类号 : B01D46/10,B01D53/04,H01L21/22

申请号
CN202022348923.X
可选规格
  • 专利类型: 实用新型专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2020-10-21
  • 公开号: CN214130785U
  • 公开日: 2021-09-07
  • 主分类号: B01D46/10
  • 专利权人: 江苏金圣硅基新材料研究院有限公司

专利摘要

本实用新型公开了一种节能环保型连续式扩散炉,包括气柜、散热底柜、反应柜和炉体,所述散热底柜顶端的一端安装有气柜,且气柜一侧的散热底柜顶端安装有反应柜,所述反应柜的内部均匀设置有炉体,且炉体的顶端和底端均安装有加热管,所述反应柜内部靠近气柜的一侧均匀安装有泄压结构,且反应柜一侧的散热底柜顶端安装有送料柜,所述送料柜一侧的散热底柜顶端安装有电柜,且电柜的一端均匀安装有PLC控制器,所述电柜内部远离气柜的一侧均匀安装有气动伸缩杆。本实用新型通过连接管将炉体内部的气体排入气筒内部并推动活塞使得弹性弹簧发生弹性形变缩短,直至活塞越过出气管,从而气体从出气管排出,完成自动泄压。

权利要求

1.一种节能环保型连续式扩散炉,包括气柜(1)、散热底柜(7)、反应柜(9)和炉体(18),其特征在于:所述散热底柜(7)顶端的一端安装有气柜(1),且气柜(1)一侧的散热底柜(7)顶端安装有反应柜(9),所述反应柜(9)的内部均匀设置有炉体(18),且炉体(18)的顶端和底端均安装有加热管(19),所述反应柜(9)内部靠近气柜(1)的一侧均匀安装有泄压结构(8),且反应柜(9)一侧的散热底柜(7)顶端安装有送料柜(10),所述送料柜(10)一侧的散热底柜(7)顶端安装有电柜(13),且电柜(13)的一端均匀安装有PLC控制器(24),所述电柜(13)内部远离气柜(1)的一侧均匀安装有气动伸缩杆(14),且气动伸缩杆(14)的输出端均安装有推板(17),所述推板(17)远离气动伸缩杆(14)的一侧均设置有内盖(12),且内盖(12)远离推板(17)一侧的下端均水平安装有放料板(11)。

2.根据权利要求1所述的一种节能环保型连续式扩散炉,其特征在于:所述气柜(1)内部的底端安装有净化罐(3),且净化罐(3)内部两侧的下端均匀安装有缓速板(6),所述净化罐(3)内部两侧的上端安装有过滤层(5),且过滤层(5)上方的净化罐(3)内部两侧安装有吸附层(4),所述净化罐(3)的顶端安装有贯穿气柜(1)的排气管(2)。

3.根据权利要求1所述的一种节能环保型连续式扩散炉,其特征在于:所述气柜(1)一侧的上端安装有通风机(23),且通风机(23)的输出端安装有通气总管(22),所述通气总管(22)远离通风机(23)的一侧均匀安装有贯穿至炉体(18)内部的通气管(21),且通气管(21)远离通风机(23)的一侧均匀开设有通孔(20)。

4.根据权利要求1所述的一种节能环保型连续式扩散炉,其特征在于:所述泄压结构(8)包括出气总管(801)、气筒(802)、出气管(803)、弹性弹簧(804)、连接管(805)和活塞(806),所述气筒(802)均安装在反应柜(9)内部靠近气柜(1)的一侧,且气筒(802)一侧的上端均安装有贯穿炉体(18)的连接管(805),所述气筒(802)的底端均安装有弹性弹簧(804),且弹性弹簧(804)的顶端均滑动连接有活塞(806),所述气筒(802)一侧的下端均安装有贯穿反应柜(9)的出气管(803),且出气管(803)的一侧安装有贯穿净化罐(3)的出气总管(801)。

5.根据权利要求1所述的一种节能环保型连续式扩散炉,其特征在于:所述送料柜(10)的内部均匀水平安装有滑道(15),且滑道(15)上方的推板(17)底端均通过滑块(16)与滑道(15)相连。

6.根据权利要求1所述的一种节能环保型连续式扩散炉,其特征在于:所述内盖(12)的一侧开设有凹槽(25),且凹槽(25)的内部滑动连接有滑板(27),所述滑板(27)靠近推板(17)的一侧均匀安装有与推板(17)相连接的压缩弹簧(28),且滑板(27)远离推板(17)的一侧均安装有密封圈(26)。

一种节能环保型连续式扩散炉专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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