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一种单晶硅加工用高温加工装置

一种单晶硅加工用高温加工装置

IPC分类号 : H01L21/67,H01L21/687

申请号
CN202121932422.4
可选规格
  • 专利类型: 实用新型专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2021-08-17
  • 公开号: CN216250643U
  • 公开日: 2022-04-08
  • 主分类号: H01L21/67
  • 专利权人: 王杰

专利摘要

本实用新型公开了一种单晶硅加工用高温加工装置,涉及高温加工装置技术领域,包括高温加工外壳、加热板和控制面板,所述高温加工外壳的内部活动安装有加热板,所述加热板一端的侧面固定安装有控制面板,所述加热板的另一端固定连接有推块。本实用新型通过伸缩板和加热板相互配合,使得伸缩板带动加热板弹出高温加工外壳,然后在固定环的内部放置加工件,再由伸缩柱伸缩移动带动固定块移动固定加工件,达到固定的功能,从而方便把加热板推到高温加工外壳内部,然后配合加热管进行加热,解决了由于高温加工装置的固定性能较差,使得加工件的拿取极为麻烦的问题,有利于增加装置的固定性能,从而方便装置便捷的拿取加工件,增加装置的便捷性。

权利要求

1.一种单晶硅加工用高温加工装置,包括高温加工外壳(1)、加热板(2)和控制面板(3),所述高温加工外壳(1)的内部活动安装有加热板(2),所述加热板(2)一端的侧面固定安装有控制面板(3),其特征在于:所述加热板(2)的另一端固定连接有推块(21),所述推块(21)远离加热板(2)的一侧设置有伸缩板(22),所述加热板(2)的顶部设置有固定环(23),所述高温加工外壳(1)的内腔设置有加热管(11),所述加热管(11)的侧面固定安装有防尘网(12);

所述固定环(23)的内部设置有固定块(24),所述固定块(24)的侧面固定安装有伸缩柱(25);

所述防尘网(12)的表面设置有清理板(13),所述清理板(13)的底部固定安装有清理块(14)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述固定环(23)的侧面设置有滑槽(231),所述滑槽(231)的内部固定安装在伸缩柱(25)的一端。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述固定块(24)的顶部固定安装有导热垫(241),所述导热垫(241)的底部固定安装有气压垫(242)。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述气压垫(242)的底部固定安装有压柱(243),所述压柱(243)的底部活动套接有压块(244),所述压块(244)的底部设置有底板。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述防尘网(12)的两侧开设有滑轨(121),所述滑轨(121)的内部活动套接有连接块(122),所述连接块(122)的侧面设置在清理板(13)的两端。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用高温加工装置,其特征在于:所述清理块(14)的底部设置有粘连垫(141),所述粘连垫(141)的底部固定安装有吸附块(142)。

一种单晶硅加工用高温加工装置专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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