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一种集成电路器件刻除装置

一种集成电路器件刻除装置

IPC分类号 : H01L21/67,B01D47/06

申请号
CN202122176291.8
可选规格
  • 专利类型: 实用新型专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2021-09-09
  • 公开号: CN216250645U
  • 公开日: 2022-04-08
  • 主分类号: H01L21/67
  • 专利权人: 周加红

专利摘要

本实用新型公开了一种集成电路器件刻除装置,涉及集成电路技术领域,包括操作台和刻除装置,所述刻除装置设置于操作台的顶部,所述刻除装置的内壁上活动连接有活动杆,所述操作台的上表面分别设置有烟尘处理机构和稳定机构,所述烟尘处理机构包括有固定环,所述固定环与活动杆的外表面活动连接。本实用新型通过采用吸尘罩、吸尘软管、风机、喷淋处理装置、进水管以及排污管之间的配合,首先通过风机、吸尘罩以及吸尘软管之间的配合,将刻除过程产生的烟尘以及颗粒物经进尘管吸入到喷淋处理装置中,并通过进水管的配合,进行喷淋吸附处理,处理完成之后的污水经排污管排出,避免烟尘过多的问题。

权利要求

1.一种集成电路器件刻除装置,包括操作台(1)和刻除装置(2),所述刻除装置(2)设置于操作台(1)的顶部,所述刻除装置(2)的内壁上活动连接有活动杆(21),其特征在于:所述操作台(1)的上表面分别设置有烟尘处理机构(3)和稳定机构(4);

所述烟尘处理机构(3)包括有固定环(31),所述固定环(31)与活动杆(21)的外表面活动连接,所述固定环(31)的一侧设置有喷淋处理装置(35);

所述稳定机构(4)包括有固定背板(41),所述固定背板(41)的下表面与操作台(1)的上表面固定连接,所述操作台(1)的上表面设置有稳定底板(46)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路器件刻除装置,其特征在于:所述固定环(31)的内壁上固定连接有吸尘软管(33),所述吸尘软管(33)的一端外表面上固定连接有吸尘罩(32),所述吸尘软管(33)的另一端外表面上固定连接有风机(34)。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路器件刻除装置,其特征在于:所述风机(34)的外表面上固定连接有进尘管(341),所述进尘管(341)的一端外表面与喷淋处理装置(35)的外表面固定连接,所述喷淋处理装置(35)的上表面固定连接有进水管(36),所述喷淋处理装置(35)的外表面上固定连接有排污管(37),所述排污管(37)的外表面上固定安装有控制阀。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路器件刻除装置,其特征在于:所述固定背板(41)的外表面上固定连接有连接轴(42),所述连接轴(42)的下表面与操作台(1)的上表面固定连接,所述固定背板(41)的外表面上固定连接有固定底板(43),所述连接轴(42)的外表面上活动连接有滑动板(44)。

5.根据权利要求4所述的一种集成电路器件刻除装置,其特征在于:所述滑动板(44)的外表面上活动连接有调节螺栓(45),所述调节螺栓(45)的一端外表面穿设于固定底板(43)的内部且与调节螺栓(45)的内壁活动连接,所述调节螺栓(45)的上表面固定连接有旋转把手。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路器件刻除装置,其特征在于:所述稳定底板(46)的外表面与操作台(1)的上表面固定连接,所述稳定底板(46)的内腔底部固定连接有滑动套筒(461),所述滑动套筒(461)的内壁上活动连接有滑动杆(462),所述滑动套筒(461)和滑动杆(462)的外表面上穿设有弹簧(463),所述弹簧(463)的两端分别与稳定底板(46)的内壁固定连接,所述稳定底板(46)的内壁上固定连接有弹性橡胶块(464)。

一种集成电路器件刻除装置专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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