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一种复合相变薄膜材料(Si/Ge2Sb2Te5/Si)n的制备方法

一种复合相变薄膜材料(Si/Ge2Sb2Te5/Si)n的制备方法

IPC分类号 : C23C14/06; C23C14/14; C23C14/35; H01L45/00

申请号
CN201810920701.5
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2015/12/14
  • 公开号: CN108823530A
  • 公开日: 2018/11/16
  • 主分类号: C23C14/06
  • 专利权人: 江苏理工学院

专利摘要

本发明公开了一种复合相变薄膜材料(Si/Ge2Sb2Te5/Si)n的制备方法,采用磁控溅射法制备,薄膜材料由10组Si/Ge2Sb2Te5/Si复合薄膜单元组成,每一组复合薄膜单元包括两层Si纳米薄膜和一层Ge2Sb2Te5纳米薄膜。本发明的复合相变薄膜材料利用了Si‑Ge2Sb2Te5界面效应与应力调控相变特性,使用的Si纳米薄膜具有相对较高的热胀系数,其在升温过程中对Ge2Sb2Te5提供一个张应力,并在Ge2Sb2Te5相变时阻碍其结构的收缩,从而能显著调控Ge2Sb2Te5的相变温度和相变速率,能够实现结晶温度、结晶速率、热稳定性、数据保持力的调控,同时可以调控晶态电阻。

专利附图

一种复合相变薄膜材料(Si/Ge2Sb2Te5/Si)n的制备方法

一种复合相变薄膜材料(Si/Ge2Sb2Te5/Si)n的制备方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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