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一种高铁磁性的LSMO薄膜及其制备方法

一种高铁磁性的LSMO薄膜及其制备方法

IPC分类号 : H01F41/24,H01F41/22,H01F10/193,C01F17/00

申请号
CN201811088827.7
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2018-09-18
  • 公开号: 109273255B
  • 公开日: 2019-01-25
  • 主分类号: H01F41/24
  • 专利权人: 陕西科技大学

专利摘要

本发明提供高铁磁性的LSMO薄膜及其制备方法,采用溶胶‑凝胶旋涂法制备得到La0.7Sr0.3MnO3湿膜,以10~20℃/min的升温速率升温至350~400℃进行预退火,再以10~20℃/min的升温速率升温至600~620℃下退火,制备得到La0.7Sr0.3MnO3薄膜。得到的La0.7Sr0.3MnO3薄膜为菱方钙钛矿结构,空间群R3c,沿着(101)方向的取向生长,其饱和磁化值Ms为160.12emu/cm3。本发明所述的制备方法增加预退火的过程有利于有机溶剂的挥发,提高薄膜铁磁性;加入聚乙二醇可以调节前驱液的粘滞度,提高薄膜的质量。

权利要求

1.一种高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,采用溶胶-凝胶旋涂法制备得到La0.7Sr0.3MnO3湿膜,以10~20℃/min的升温速率升温至350~400℃进行预退火,再以10~20℃/min的升温速率升温至600~620℃下退火,制备得到La0.7Sr0.3MnO3薄膜;

具体包括以下步骤:

步骤1,将La(NO3)3·6H2O、Sr(NO3)2和C4H6MnO4·4H2O按摩尔比为0.7:0.3:1溶于乙二醇甲醚中,再加入水搅拌至完全溶解,然后加入醋酸酐并搅拌,静置12~14h得到La0.7Sr0.3MnO3前驱液;

步骤2,用旋涂法在FTO/Glass基板上旋涂La0.7Sr0.3MnO3前驱液,得到La0.7Sr0.3MnO3湿膜,将湿膜在150~170℃下烘烤得干膜,以10℃/min的升温速率升温至350~400℃时进行预退火,再于600~620℃下退火,得到晶态La0.7Sr0.3MnO3薄膜;

步骤3,待晶态La0.7Sr0.3MnO3薄膜自然降温后,在晶态La0.7Sr0.3MnO3薄膜上重复步骤2,达到预设厚度,即得到La0.7Sr0.3MnO3薄膜;

步骤1中,加入醋酸酐之后再加入聚乙二醇,聚乙二醇与醋酸酐的体积比为(0~0.75):(1~1.1),搅拌均匀,静置得到La0.7Sr0.3MnO3前驱液;

步骤2中的匀胶转速为3500~3800r/min,匀胶时间为10~15s。

2.根据权利要求1所述的高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,步骤1中,La0.7Sr0.3MnO3前驱液中金属离子的总浓度为0.3~0.4mol/L。

3.根据权利要求1所述的高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,La0.7Sr0.3MnO3前驱液中乙二醇甲醚和醋酸酐的体积比为(2.5~3):(1~1.1)。

4.根据权利要求1所述的高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,步骤2中匀胶后的烘烤时间为8~10min。

5.根据权利要求1所述的高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,步骤2中的预退火时间为15~20min,退火时间为25~35min。

6.一种高铁磁性的LSMO薄膜,其特征在于,采用权利要求1-5任一项所述的制备方法得到,为菱方钙钛矿结构,空间群R3c,沿着(101)方向的取向生长,其饱和磁化值Ms为160.12emu/cm3

一种高铁磁性的LSMO薄膜及其制备方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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